信息记录材料
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신식기록재료
INFORMATION RECORDING MATERIALS
2015年
1期
36-51
,共16页
光刻技术%光刻材料%光刻胶%抗蚀剂%市场前景
光刻技術%光刻材料%光刻膠%抗蝕劑%市場前景
광각기술%광각재료%광각효%항식제%시장전경
简述了光刻技术及光刻材料的发展过程及发展趋势,对光刻技术在集成电路和半导体分立器件的微细加工以及印刷电路板、平板显示器、触摸屏等制作过程中的应用进行了概述.并重点围绕光刻胶在集成电路制造中的应用,对其反应机理、应用性能等进行了阐述.同时还对光刻材料的市场特别是中国市场的现状及前景做了一定分析.
簡述瞭光刻技術及光刻材料的髮展過程及髮展趨勢,對光刻技術在集成電路和半導體分立器件的微細加工以及印刷電路闆、平闆顯示器、觸摸屏等製作過程中的應用進行瞭概述.併重點圍繞光刻膠在集成電路製造中的應用,對其反應機理、應用性能等進行瞭闡述.同時還對光刻材料的市場特彆是中國市場的現狀及前景做瞭一定分析.
간술료광각기술급광각재료적발전과정급발전추세,대광각기술재집성전로화반도체분립기건적미세가공이급인쇄전로판、평판현시기、촉모병등제작과정중적응용진행료개술.병중점위요광각효재집성전로제조중적응용,대기반응궤리、응용성능등진행료천술.동시환대광각재료적시장특별시중국시장적현상급전경주료일정분석.
