红外技术
紅外技術
홍외기술
INFRARED TECHNOLOGY
2015年
1期
48-53
,共6页
朱亚安%段瑜%宋立媛%孙琪艳%殷艳娥%杨炜平%万锐敏%季华夏
硃亞安%段瑜%宋立媛%孫琪豔%慇豔娥%楊煒平%萬銳敏%季華夏
주아안%단유%송립원%손기염%은염아%양위평%만예민%계화하
单片晶圆%兆声清洗%仿真模型
單片晶圓%兆聲清洗%倣真模型
단편정원%조성청세%방진모형
single-wafer%megasonic cleaning%simulation model
通过研究单片晶圆兆声清洗过程中兆声头在晶圆表面的运动轨迹和能量积累过程,构建了单晶圆清洗的兆声能量分布和颗粒去除过程的数学模型.通过Mathematica 9.0对模型进行了运算和简化,经过离散化处理后,运用MATLAB对几种硅片转速和兆声臂转速的组合在硅片上的能量分布和颗粒分布进行了模拟仿真.发现简单组合比例下清洗效果与转速比例和清洗轨迹复杂程度密切相关,而固定半径扫描可以使能量分布更均匀,减少局部能量集中对晶圆IC的破坏,并且可以缩短清洗时间.
通過研究單片晶圓兆聲清洗過程中兆聲頭在晶圓錶麵的運動軌跡和能量積纍過程,構建瞭單晶圓清洗的兆聲能量分佈和顆粒去除過程的數學模型.通過Mathematica 9.0對模型進行瞭運算和簡化,經過離散化處理後,運用MATLAB對幾種硅片轉速和兆聲臂轉速的組閤在硅片上的能量分佈和顆粒分佈進行瞭模擬倣真.髮現簡單組閤比例下清洗效果與轉速比例和清洗軌跡複雜程度密切相關,而固定半徑掃描可以使能量分佈更均勻,減少跼部能量集中對晶圓IC的破壞,併且可以縮短清洗時間.
통과연구단편정원조성청세과정중조성두재정원표면적운동궤적화능량적루과정,구건료단정원청세적조성능량분포화과립거제과정적수학모형.통과Mathematica 9.0대모형진행료운산화간화,경과리산화처리후,운용MATLAB대궤충규편전속화조성비전속적조합재규편상적능량분포화과립분포진행료모의방진.발현간단조합비례하청세효과여전속비례화청세궤적복잡정도밀절상관,이고정반경소묘가이사능량분포경균균,감소국부능량집중대정원IC적파배,병차가이축단청세시간.
