快速冷热循环仪的研制
쾌속랭열순배의적연제
Design and Fabrication of Rapid Cool-thermal Cycle System
  • 万方数据
    科技视界 과기시계
    Science&Technology Vision
    2015年 2期 64-65 ,共2页

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    本文设计了一种快速冷热循环仪,可以实现对金属薄膜材料快速变温的控制,用于研究温度变化对薄膜的影响以改善集成电路的可靠性.该仪器包括升降位移机构、运动控制系统和水冷系统及加热系统等.通过计算机控制伺服电机以驱动移动装置快速上升和下降,从而使加热系统靠近及远离金属薄膜材料,使其迅速变温达到设定温度,通过冷却循环系统达到辅助降温的目的.该方法实现了对温度、时间、循环次数的控制,既可以迅速升温,快速给金属材料加热,又通过冷却液的循环加快降温速率.
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