强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2015年
2期
186-189
,共4页
纳米金刚石%压力%化学气相沉积%金刚石膜
納米金剛石%壓力%化學氣相沉積%金剛石膜
납미금강석%압력%화학기상침적%금강석막
nanocrystalline diamond%pressure%chemical vapor deposition%diamond films
纳米金刚石膜具有高耐磨能力和低摩擦系数,在多个领域有广阔的应用前景.纳米金刚石膜可通过热丝化学气相沉积方法进行制备.其中,系统压力是关键的参数,适当的压力下可生长纳米金刚石膜,而改变压力则金刚石膜的表面形态将发生变化.实验通过不同压力下制备金刚石膜,采用扫描电镜进行形貌观察,并通过拉曼光谱确定纳米金刚石结构.实验表明,金刚石膜形态随压力变化而改变,一定压力下生长出纳米金刚石膜,降低压力则晶体颗粒变粗.分析其原因是与氢原子的运动密切相关.
納米金剛石膜具有高耐磨能力和低摩抆繫數,在多箇領域有廣闊的應用前景.納米金剛石膜可通過熱絲化學氣相沉積方法進行製備.其中,繫統壓力是關鍵的參數,適噹的壓力下可生長納米金剛石膜,而改變壓力則金剛石膜的錶麵形態將髮生變化.實驗通過不同壓力下製備金剛石膜,採用掃描電鏡進行形貌觀察,併通過拉曼光譜確定納米金剛石結構.實驗錶明,金剛石膜形態隨壓力變化而改變,一定壓力下生長齣納米金剛石膜,降低壓力則晶體顆粒變粗.分析其原因是與氫原子的運動密切相關.
납미금강석막구유고내마능력화저마찰계수,재다개영역유엄활적응용전경.납미금강석막가통과열사화학기상침적방법진행제비.기중,계통압력시관건적삼수,괄당적압력하가생장납미금강석막,이개변압력칙금강석막적표면형태장발생변화.실험통과불동압력하제비금강석막,채용소묘전경진행형모관찰,병통과랍만광보학정납미금강석결구.실험표명,금강석막형태수압력변화이개변,일정압력하생장출납미금강석막,강저압력칙정체과립변조.분석기원인시여경원자적운동밀절상관.
