强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2015年
2期
182-185
,共4页
液相电化学沉积%类金刚石薄膜%Raman光谱%摩擦性能
液相電化學沉積%類金剛石薄膜%Raman光譜%摩抆性能
액상전화학침적%류금강석박막%Raman광보%마찰성능
liquid electro-deposition%DLC films%Raman spectroscopy%friction behavior
采用自行设计的液相法沉积装置,以甲醇有机溶剂作为碳源,利用液相电化学沉积技术在不锈钢及Si基底上制备了类金刚石薄膜;用扫描电镜、Raman光谱仪表征了沉积薄膜的表面形貌和结构;用UMT-2M摩擦磨损试验机对两种沉积薄膜进行了摩擦性能测试.结果表明:经电化学沉积的类金刚石薄膜均匀、致密,表面粗糙度小;Raman光谱在1 332 cm-1处有强的谱峰,与金刚石的特征峰相吻合,其中不锈钢基底上薄膜的sp3含量更高;不锈钢基底沉积膜的摩擦系数为0.12,Si片基底沉积膜的摩擦系数为0.10;不锈钢基底沉积膜的耐磨性较Si片沉积膜高.
採用自行設計的液相法沉積裝置,以甲醇有機溶劑作為碳源,利用液相電化學沉積技術在不鏽鋼及Si基底上製備瞭類金剛石薄膜;用掃描電鏡、Raman光譜儀錶徵瞭沉積薄膜的錶麵形貌和結構;用UMT-2M摩抆磨損試驗機對兩種沉積薄膜進行瞭摩抆性能測試.結果錶明:經電化學沉積的類金剛石薄膜均勻、緻密,錶麵粗糙度小;Raman光譜在1 332 cm-1處有彊的譜峰,與金剛石的特徵峰相吻閤,其中不鏽鋼基底上薄膜的sp3含量更高;不鏽鋼基底沉積膜的摩抆繫數為0.12,Si片基底沉積膜的摩抆繫數為0.10;不鏽鋼基底沉積膜的耐磨性較Si片沉積膜高.
채용자행설계적액상법침적장치,이갑순유궤용제작위탄원,이용액상전화학침적기술재불수강급Si기저상제비료류금강석박막;용소묘전경、Raman광보의표정료침적박막적표면형모화결구;용UMT-2M마찰마손시험궤대량충침적박막진행료마찰성능측시.결과표명:경전화학침적적류금강석박막균균、치밀,표면조조도소;Raman광보재1 332 cm-1처유강적보봉,여금강석적특정봉상문합,기중불수강기저상박막적sp3함량경고;불수강기저침적막적마찰계수위0.12,Si편기저침적막적마찰계수위0.10;불수강기저침적막적내마성교Si편침적막고.
