强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2015年
2期
243-248
,共6页
冯丽爽%姚保寅%刘惟芳%王潇
馮麗爽%姚保寅%劉惟芳%王瀟
풍려상%요보인%류유방%왕소
加速度传感器%微米光栅%光学干涉%静电驱动
加速度傳感器%微米光柵%光學榦涉%靜電驅動
가속도전감기%미미광책%광학간섭%정전구동
acceleration sensor%micro-grating%optical interferometry%electrostatic actuation
介绍了一种以微米衍射光栅为敏感元件的微机电加速度计敏感头的加工和性能.硅质量块底部加工有铝反射膜,透明玻璃基底上制作有金微米光栅,中间为空气腔,经硅玻璃阳极键合,构成敏感头的核心敏感部件.光源透过透明基底,照射在光栅上,在反射场内会产生一系列衍射级次,且各级次衍射光强与外界加速度之间呈函数关系.完成了微米光栅加速度计敏感头的加工,搭建了实验测试平台,完成了加速度计的灵敏度以及静电驱动性能测试.为未来新型集成式微米光栅加速度计设计和加工提供参考.
介紹瞭一種以微米衍射光柵為敏感元件的微機電加速度計敏感頭的加工和性能.硅質量塊底部加工有鋁反射膜,透明玻璃基底上製作有金微米光柵,中間為空氣腔,經硅玻璃暘極鍵閤,構成敏感頭的覈心敏感部件.光源透過透明基底,照射在光柵上,在反射場內會產生一繫列衍射級次,且各級次衍射光彊與外界加速度之間呈函數關繫.完成瞭微米光柵加速度計敏感頭的加工,搭建瞭實驗測試平檯,完成瞭加速度計的靈敏度以及靜電驅動性能測試.為未來新型集成式微米光柵加速度計設計和加工提供參攷.
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