强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2015年
1期
105-110
,共6页
赵东峰%邬融%林尊琪%邵平%朱健强
趙東峰%鄔融%林尊琪%邵平%硃健彊
조동봉%오융%림존기%소평%주건강
激光光学%熔石英%超声波%损伤阈值%化学刻蚀
激光光學%鎔石英%超聲波%損傷閾值%化學刻蝕
격광광학%용석영%초성파%손상역치%화학각식
laser optics%fused silica%ultrasonic%damage threshold%chemical etching
为了提高熔石英元件表面抗激光损伤阈值,利用超声波辅助HF酸研究平滑光学元件表面缺陷形貌和去除刻蚀后残留物效果,通过扫描电子显微镜电镜和原子力显微镜记录表面形貌结构,以及单脉冲激光辐照测试抗损伤阈值确定实验参数.研究表明,超声波场的引入能催化HF酸的刻蚀速率、提高钝化效果并且更易剥离嵌入的亚μm级杂质粒子.经过实验测试,获得了熔石英类元件相匹配的超声辅助HF酸刻蚀实验参数,研究结果对应用超声波辅助HF酸研究熔石英表面抗激光损伤有重要意义.
為瞭提高鎔石英元件錶麵抗激光損傷閾值,利用超聲波輔助HF痠研究平滑光學元件錶麵缺陷形貌和去除刻蝕後殘留物效果,通過掃描電子顯微鏡電鏡和原子力顯微鏡記錄錶麵形貌結構,以及單脈遲激光輻照測試抗損傷閾值確定實驗參數.研究錶明,超聲波場的引入能催化HF痠的刻蝕速率、提高鈍化效果併且更易剝離嵌入的亞μm級雜質粒子.經過實驗測試,穫得瞭鎔石英類元件相匹配的超聲輔助HF痠刻蝕實驗參數,研究結果對應用超聲波輔助HF痠研究鎔石英錶麵抗激光損傷有重要意義.
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