低温与特气
低溫與特氣
저온여특기
LOW TEMPERATURE AND SPECIALTY GASES
2014年
6期
23-27
,共5页
徐娇%何双材%胡欣%齐海%张金柯%白占旗
徐嬌%何雙材%鬍訢%齊海%張金柯%白佔旂
서교%하쌍재%호흔%제해%장금가%백점기
电子气体%全氟-1,3-丁二烯%纯化%吸附
電子氣體%全氟-1,3-丁二烯%純化%吸附
전자기체%전불-1,3-정이희%순화%흡부
介绍了六氟-1,3-丁二烯的性质、纯化技术以及与传统含氟刻蚀气体刻蚀性能的比较.六氟-1,3-丁二烯是一种新型的电子气体,主要应用于超大规模集成电路的干法刻蚀方面.优越的刻蚀性能和优良的环境性能使其成为具有发展前景的下一代刻蚀气体.
介紹瞭六氟-1,3-丁二烯的性質、純化技術以及與傳統含氟刻蝕氣體刻蝕性能的比較.六氟-1,3-丁二烯是一種新型的電子氣體,主要應用于超大規模集成電路的榦法刻蝕方麵.優越的刻蝕性能和優良的環境性能使其成為具有髮展前景的下一代刻蝕氣體.
개소료륙불-1,3-정이희적성질、순화기술이급여전통함불각식기체각식성능적비교.륙불-1,3-정이희시일충신형적전자기체,주요응용우초대규모집성전로적간법각식방면.우월적각식성능화우량적배경성능사기성위구유발전전경적하일대각식기체.
