Modbus TCP通讯协议在高温MOCVD控制系统中的应用
Modbus TCP통신협의재고온MOCVD공제계통중적응용
The application of Modbus TCP protocol in HT-MOCVD controlling system
  • 万方数据
    电子工业专用设备 전자공업전용설비
    EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
    2014年 12期 27-30 ,共4页

    何华云%林伯奇%胡晓宇

    하화운%림백기%호효우

    Modbus TCP%高温MOCVD%以太网通信协议 Modbus TCP%高溫MOCVD%以太網通信協議
    Modbus TCP%고온MOCVD%이태망통신협의
    介绍了四十八所自主研发的高温MOCVD设备及控制系统组成,并介绍了采用ModbusTCP协议实现旋转控制器与温控仪通讯的编程实例.
    개소료사십팔소자주연발적고온MOCVD설비급공제계통조성,병개소료채용ModbusTCP협의실현선전공제기여온공의통신적편정실례.
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