河南科技学院学报（自然科学版）
河南科技學院學報（自然科學版）
하남과기학원학보（자연과학판）
JOURNAL OF HENAN INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCES EDITION)
2014年
6期
64-67
,共4页
离子溅射%金薄膜%电极材料
離子濺射%金薄膜%電極材料
리자천사%금박막%전겁재료
采用离子溅射法制备金薄膜,研究了不同厚度金薄膜的光学及电学性能.结果表明:金薄膜透光性随着厚度的增加显著减小,电阻率随着厚度的增加而减小,在薄膜厚度为20 nm时,电阻率小,透光性较高,适合作透明电极.
採用離子濺射法製備金薄膜,研究瞭不同厚度金薄膜的光學及電學性能.結果錶明:金薄膜透光性隨著厚度的增加顯著減小,電阻率隨著厚度的增加而減小,在薄膜厚度為20 nm時,電阻率小,透光性較高,適閤作透明電極.
채용리자천사법제비금박막,연구료불동후도금박막적광학급전학성능.결과표명:금박막투광성수착후도적증가현저감소,전조솔수착후도적증가이감소,재박막후도위20 nm시,전조솔소,투광성교고,괄합작투명전겁.
