郑州大学学报（理学版）
鄭州大學學報（理學版）
정주대학학보（이학판）
JOURNAL OF ZHENGZHOU UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2014年
4期
40-44
,共5页
朱贺杰%郭瑞芳%郜小勇%张飒%刘红涛
硃賀傑%郭瑞芳%郜小勇%張颯%劉紅濤
주하걸%곽서방%고소용%장삽%류홍도
ZnS薄膜%化学水浴法%光快速热处理%光吸收
ZnS薄膜%化學水浴法%光快速熱處理%光吸收
ZnS박막%화학수욕법%광쾌속열처리%광흡수
ZnS%film%chemical%bath%deposition%rapid%thermal%treatment%optical%absorption
采用化学水浴法,以乙酸锌、硫脲、氨水和去离子水为反应前驱物制备了ZnS薄膜.采用SEM、XRD、紫外-可见吸收光谱和荧光光谱研究了光快速热处理温度(Trtt)对ZnS薄膜的表面形貌、结晶和光学性能的影响,同时对ZnS薄膜的形成机理做了分析.研究结果表明:光快速热处理前后,ZnS薄膜均基本呈非晶态,这显示仅采用氨水做络合剂并不能在硅(100)衬底上制备结晶的ZnS薄膜;随着Trtt的升高,ZnS薄膜的吸收边趋于红移,该红移可归结于薄膜应力的变化;在250 nm的紫外光激发下,as-depo的ZnS薄膜在470 nm附近出现的宽峰可归结于ZnS薄膜表面硫的不饱和sp3轨道引起的空穴陷阱和Zn空位的缺陷.Trtt的升高起初增加了薄膜中的点缺陷,随后由于薄膜内部的原子重新排列导致点缺陷减少.薄膜中的点缺陷含量与可见光区的发光强度成正比.
採用化學水浴法,以乙痠鋅、硫脲、氨水和去離子水為反應前驅物製備瞭ZnS薄膜.採用SEM、XRD、紫外-可見吸收光譜和熒光光譜研究瞭光快速熱處理溫度(Trtt)對ZnS薄膜的錶麵形貌、結晶和光學性能的影響,同時對ZnS薄膜的形成機理做瞭分析.研究結果錶明:光快速熱處理前後,ZnS薄膜均基本呈非晶態,這顯示僅採用氨水做絡閤劑併不能在硅(100)襯底上製備結晶的ZnS薄膜;隨著Trtt的升高,ZnS薄膜的吸收邊趨于紅移,該紅移可歸結于薄膜應力的變化;在250 nm的紫外光激髮下,as-depo的ZnS薄膜在470 nm附近齣現的寬峰可歸結于ZnS薄膜錶麵硫的不飽和sp3軌道引起的空穴陷阱和Zn空位的缺陷.Trtt的升高起初增加瞭薄膜中的點缺陷,隨後由于薄膜內部的原子重新排列導緻點缺陷減少.薄膜中的點缺陷含量與可見光區的髮光彊度成正比.
채용화학수욕법,이을산자、류뇨、안수화거리자수위반응전구물제비료ZnS박막.채용SEM、XRD、자외-가견흡수광보화형광광보연구료광쾌속열처리온도(Trtt)대ZnS박막적표면형모、결정화광학성능적영향,동시대ZnS박막적형성궤리주료분석.연구결과표명:광쾌속열처리전후,ZnS박막균기본정비정태,저현시부채용안수주락합제병불능재규(100)츤저상제비결정적ZnS박막;수착Trtt적승고,ZnS박막적흡수변추우홍이,해홍이가귀결우박막응력적변화;재250 nm적자외광격발하,as-depo적ZnS박막재470 nm부근출현적관봉가귀결우ZnS박막표면류적불포화sp3궤도인기적공혈함정화Zn공위적결함.Trtt적승고기초증가료박막중적점결함,수후유우박막내부적원자중신배렬도치점결함감소.박막중적점결함함량여가견광구적발광강도성정비.
