西安交通大学学报
西安交通大學學報
서안교통대학학보
JOURNAL OF XI'AN JIAOTONG UNIVERSITY
2015年
1期
139-142
,共4页
封装%聚氧乙烯%阳极键合%固体电解质
封裝%聚氧乙烯%暘極鍵閤%固體電解質
봉장%취양을희%양겁건합%고체전해질
packaging%poly ethylene oxide%anodic bonding%solid electrolyte
根据微机电系统(MEMS)封装中常用的阳极键合技术的特点,采用机械合金化法制备了高分子固体电解质,用作新的阳极键合材料.采用傅里叶红外光谱(FTIR)、X射线衍射(XRD)和同步辐射小角X射线技术(SAXS)等手段研究了锂盐加入量对络合成的阳极键合用聚氧乙烯(PEO)LiX的导电性能的影响,进而探讨了高分子固体电解质作为新型封装材料在阳极键合应用中的可行性.结果表明:相对于LiPF6,络合LiClO4更容易增加锂离子的迁移数,能更有效地阻碍高分子固体电解质的结晶,使得无定形区的含量增加;对于制备出的阳极键合用PEO-LiClO4高分子固体电解质材料,随着锂盐含量的增加,PEO与锂盐之间的络合结构变得更松弛,该络合体系的有序性变差,无序度增大,这种结构在静电场作用下更容易破坏,因而电导率更高,键合质量良好.
根據微機電繫統(MEMS)封裝中常用的暘極鍵閤技術的特點,採用機械閤金化法製備瞭高分子固體電解質,用作新的暘極鍵閤材料.採用傅裏葉紅外光譜(FTIR)、X射線衍射(XRD)和同步輻射小角X射線技術(SAXS)等手段研究瞭鋰鹽加入量對絡閤成的暘極鍵閤用聚氧乙烯(PEO)LiX的導電性能的影響,進而探討瞭高分子固體電解質作為新型封裝材料在暘極鍵閤應用中的可行性.結果錶明:相對于LiPF6,絡閤LiClO4更容易增加鋰離子的遷移數,能更有效地阻礙高分子固體電解質的結晶,使得無定形區的含量增加;對于製備齣的暘極鍵閤用PEO-LiClO4高分子固體電解質材料,隨著鋰鹽含量的增加,PEO與鋰鹽之間的絡閤結構變得更鬆弛,該絡閤體繫的有序性變差,無序度增大,這種結構在靜電場作用下更容易破壞,因而電導率更高,鍵閤質量良好.
근거미궤전계통(MEMS)봉장중상용적양겁건합기술적특점,채용궤계합금화법제비료고분자고체전해질,용작신적양겁건합재료.채용부리협홍외광보(FTIR)、X사선연사(XRD)화동보복사소각X사선기술(SAXS)등수단연구료리염가입량대락합성적양겁건합용취양을희(PEO)LiX적도전성능적영향,진이탐토료고분자고체전해질작위신형봉장재료재양겁건합응용중적가행성.결과표명:상대우LiPF6,락합LiClO4경용역증가리리자적천이수,능경유효지조애고분자고체전해질적결정,사득무정형구적함량증가;대우제비출적양겁건합용PEO-LiClO4고분자고체전해질재료,수착리염함량적증가,PEO여리염지간적락합결구변득경송이,해락합체계적유서성변차,무서도증대,저충결구재정전장작용하경용역파배,인이전도솔경고,건합질량량호.
