仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2015年
1期
53-55
,共3页
邓卫梅%薛虹%陈代谢%殷伯华%韩立
鄧衛梅%薛虹%陳代謝%慇伯華%韓立
산위매%설홍%진대사%은백화%한립
原子力显微镜%DSP%FPGA%FIFO%PID%噪声
原子力顯微鏡%DSP%FPGA%FIFO%PID%譟聲
원자력현미경%DSP%FPGA%FIFO%PID%조성
AFM%DSP%FPGA%FIFO%PID%noise
针对原子力显微镜难以同时实现快速、高精度、大范围扫描成像的不足，逐渐出现了带两级扫描器的原子力显微镜。基于自行研制的大范围快速原子力显微镜（含两级扫描器），为其设计了一种以DSP＿FPGA为核心的高速高精度控制系统。包括DSP和FPGA间数据传输模式和相互配置等关键技术的设计，然后嵌入PI控制器，最后用实验验证了控制系统的有效性。
針對原子力顯微鏡難以同時實現快速、高精度、大範圍掃描成像的不足，逐漸齣現瞭帶兩級掃描器的原子力顯微鏡。基于自行研製的大範圍快速原子力顯微鏡（含兩級掃描器），為其設計瞭一種以DSP＿FPGA為覈心的高速高精度控製繫統。包括DSP和FPGA間數據傳輸模式和相互配置等關鍵技術的設計，然後嵌入PI控製器，最後用實驗驗證瞭控製繫統的有效性。
침대원자력현미경난이동시실현쾌속、고정도、대범위소묘성상적불족，축점출현료대량급소묘기적원자력현미경。기우자행연제적대범위쾌속원자력현미경（함량급소묘기），위기설계료일충이DSP＿FPGA위핵심적고속고정도공제계통。포괄DSP화FPGA간수거전수모식화상호배치등관건기술적설계，연후감입PI공제기，최후용실험험증료공제계통적유효성。
As the atomic force microscopy is difficult to achieve high-speed , highp-recision and large -range scanning simulta-neously , some atomic force microscopes with two-stage scanner appear gradually .Based on the large-range and highs-peed atomic force microscopy ( including two scanners) developed by our laboratory ,a high-speed high-precision control system using DSP_FP-GA as the core was designed.For crucial designs,the data transfer mode and mutual configuration between DSP and FPGA were presented in details .Then PI controller was implemented to validate the efficiency of this control system .The improved performance of the new control system was experimentally demonstrated finally .
