传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2015年
1期
9-12,16
,共5页
简泽明%陈尚%张国军%刘梦然%许娇%张文栋
簡澤明%陳尚%張國軍%劉夢然%許嬌%張文棟
간택명%진상%장국군%류몽연%허교%장문동
阵列式MEMS矢量水听器%可靠性%灵敏度%指向性
陣列式MEMS矢量水聽器%可靠性%靈敏度%指嚮性
진렬식MEMS시량수은기%가고성%령민도%지향성
array MEMS vector hydrophone%reliability%sensitivity%directivity
针对当前对MEMS矢量水听器高可靠性迫切要求,设计了2×2单片集成四元阵列式MEMS矢量水听器,以保证其中一个敏感微结构失效损坏或工作不正常时,水听器仍能正常工作.结合ANSYS软件对阵列敏感微结构进行了仿真分析;设计了该微结构的加工工艺流程;最后,对阵列式MEMS矢量水听器进行水声校准测试.测试结果表明:阵列式水听器可靠性明显提高,灵敏度达到-179 dB(0 dB =1V/μPa),具有良好的“8”字指向性.
針對噹前對MEMS矢量水聽器高可靠性迫切要求,設計瞭2×2單片集成四元陣列式MEMS矢量水聽器,以保證其中一箇敏感微結構失效損壞或工作不正常時,水聽器仍能正常工作.結閤ANSYS軟件對陣列敏感微結構進行瞭倣真分析;設計瞭該微結構的加工工藝流程;最後,對陣列式MEMS矢量水聽器進行水聲校準測試.測試結果錶明:陣列式水聽器可靠性明顯提高,靈敏度達到-179 dB(0 dB =1V/μPa),具有良好的“8”字指嚮性.
침대당전대MEMS시량수은기고가고성박절요구,설계료2×2단편집성사원진렬식MEMS시량수은기,이보증기중일개민감미결구실효손배혹공작불정상시,수은기잉능정상공작.결합ANSYS연건대진렬민감미결구진행료방진분석;설계료해미결구적가공공예류정;최후,대진렬식MEMS시량수은기진행수성교준측시.측시결과표명:진렬식수은기가고성명현제고,령민도체도-179 dB(0 dB =1V/μPa),구유량호적“8”자지향성.
