传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2015年
1期
51-53,59
,共4页
罗云%叶凌云%黄添添%牟文杰
囉雲%葉凌雲%黃添添%牟文傑
라운%협릉운%황첨첨%모문걸
磁悬浮%气隙磁场检测%隧道型磁阻传感器%传感器阵列
磁懸浮%氣隙磁場檢測%隧道型磁阻傳感器%傳感器陣列
자현부%기극자장검측%수도형자조전감기%전감기진렬
magnetic levitation%air-gap magnetic field detection%TMR sensor%sensor array
磁悬浮系统利用电磁铁实现悬浮体的悬浮控制,电磁铁与悬浮体之间的电磁力大小与两者之间的磁场气隙密切相关,磁场气隙的高精度检测关系到悬浮控制性能的好坏.提出了一种基于隧道型磁阻(TMR)传感器阵列的气隙磁场检测方案,采用体积小、灵敏度高、测量精度高的TMR传感器作为磁传感元件,同时在气隙磁场中进行传感器的多点布控,利用传感器阵列来检测气隙磁场的分布.基于该方案研制了磁场检测实验系统进行测试验证,重点介绍了实验系统中标准磁场的建立和磁屏蔽结构设计.实验结果表明:基于TMR传感器阵列的气隙磁场检测方案经测试取得了较好的结果,补偿后的测量不确定度可以达到±0.5 ％FS.
磁懸浮繫統利用電磁鐵實現懸浮體的懸浮控製,電磁鐵與懸浮體之間的電磁力大小與兩者之間的磁場氣隙密切相關,磁場氣隙的高精度檢測關繫到懸浮控製性能的好壞.提齣瞭一種基于隧道型磁阻(TMR)傳感器陣列的氣隙磁場檢測方案,採用體積小、靈敏度高、測量精度高的TMR傳感器作為磁傳感元件,同時在氣隙磁場中進行傳感器的多點佈控,利用傳感器陣列來檢測氣隙磁場的分佈.基于該方案研製瞭磁場檢測實驗繫統進行測試驗證,重點介紹瞭實驗繫統中標準磁場的建立和磁屏蔽結構設計.實驗結果錶明:基于TMR傳感器陣列的氣隙磁場檢測方案經測試取得瞭較好的結果,補償後的測量不確定度可以達到±0.5 ％FS.
자현부계통이용전자철실현현부체적현부공제,전자철여현부체지간적전자력대소여량자지간적자장기극밀절상관,자장기극적고정도검측관계도현부공제성능적호배.제출료일충기우수도형자조(TMR)전감기진렬적기극자장검측방안,채용체적소、령민도고、측량정도고적TMR전감기작위자전감원건,동시재기극자장중진행전감기적다점포공,이용전감기진렬래검측기극자장적분포.기우해방안연제료자장검측실험계통진행측시험증,중점개소료실험계통중표준자장적건립화자병폐결구설계.실험결과표명:기우TMR전감기진렬적기극자장검측방안경측시취득료교호적결과,보상후적측량불학정도가이체도±0.5 ％FS.
