上海工程技术大学学报
上海工程技術大學學報
상해공정기술대학학보
JOURNAL OF SHANGHAI UNIVERSITY OF ENGINEERING SCIENCE
2014年
4期
296-301
,共6页
精密定位%差动原理%动态采样%误差建模%动态补偿
精密定位%差動原理%動態採樣%誤差建模%動態補償
정밀정위%차동원리%동태채양%오차건모%동태보상
针对精密定位工作台目前存在的高精度、大行程和低成本难以协调的问题,提出一种差动式结构的工作台,利用动态采样的方法对开环误差进行标定,建立误差模型,通过控制上下叠加的两个工作台差动对系统误差进行动态补偿.研究表明:利用差动原理对误差动态补偿的方法有效提高了工作台精度和系统灵敏度,为微位移机构的设计提供了新的思路和方法.
針對精密定位工作檯目前存在的高精度、大行程和低成本難以協調的問題,提齣一種差動式結構的工作檯,利用動態採樣的方法對開環誤差進行標定,建立誤差模型,通過控製上下疊加的兩箇工作檯差動對繫統誤差進行動態補償.研究錶明:利用差動原理對誤差動態補償的方法有效提高瞭工作檯精度和繫統靈敏度,為微位移機構的設計提供瞭新的思路和方法.
침대정밀정위공작태목전존재적고정도、대행정화저성본난이협조적문제,제출일충차동식결구적공작태,이용동태채양적방법대개배오차진행표정,건립오차모형,통과공제상하첩가적량개공작태차동대계통오차진행동태보상.연구표명:이용차동원리대오차동태보상적방법유효제고료공작태정도화계통령민도,위미위이궤구적설계제공료신적사로화방법.
