电子元件与材料
電子元件與材料
전자원건여재료
ELECTRONIC COMPONENTS & MATERIALS
2015年
2期
74-75
,共2页
SnO2薄膜%模拟计算%光学模拟%化学气相沉积%F掺杂%性能优化
SnO2薄膜%模擬計算%光學模擬%化學氣相沉積%F摻雜%性能優化
SnO2박막%모의계산%광학모의%화학기상침적%F참잡%성능우화
针对化学气相沉积法在玻璃衬底上制备的SnO 2薄膜，建立了计算模型，研究了SnO 2薄膜的反射光谱性质，计算出相关的光学参数。结果表明：振荡模型结合Drude模型能较好地描述SnO 2薄膜光学性能，可通过改变膜层厚度的方法对F掺杂SnO 2薄膜光学性能进行模拟优化。
針對化學氣相沉積法在玻璃襯底上製備的SnO 2薄膜，建立瞭計算模型，研究瞭SnO 2薄膜的反射光譜性質，計算齣相關的光學參數。結果錶明：振盪模型結閤Drude模型能較好地描述SnO 2薄膜光學性能，可通過改變膜層厚度的方法對F摻雜SnO 2薄膜光學性能進行模擬優化。
침대화학기상침적법재파리츤저상제비적SnO 2박막，건립료계산모형，연구료SnO 2박막적반사광보성질，계산출상관적광학삼수。결과표명：진탕모형결합Drude모형능교호지묘술SnO 2박막광학성능，가통과개변막층후도적방법대F참잡SnO 2박막광학성능진행모의우화。
