廊坊师范学院学报（自然科学版）
廊坊師範學院學報（自然科學版）
랑방사범학원학보（자연과학판）
JOURNAL OF LANGFANG TEACHERS COLLEGE
2014年
6期
39-41,49
,共4页
磁控溅射镀膜%类金刚石碳膜%复杂型腔制件%抗剥离特性%结合强度
磁控濺射鍍膜%類金剛石碳膜%複雜型腔製件%抗剝離特性%結閤彊度
자공천사도막%류금강석탄막%복잡형강제건%항박리특성%결합강도
在复杂型腔制件W18Cr4V钢基体上采用磁控溅射法涂镀类金刚石,研究不同的中间过渡层制备复合结构层的DLC碳膜,薄膜中含有sp3杂化碳原子含量最高,且膜层外观结构光滑无裂痕,韧度、界面结合强度、硬度和厚度等性能指标良好.实验结果对比分析发现Ti/TiN/TiAlN为过渡层的DLC碳膜抗剥离附着性能好,膜层间的结合强度和致密度大幅提高,涂层的内应力明显降低,DLC碳膜的综合力学性能得到全面改善.
在複雜型腔製件W18Cr4V鋼基體上採用磁控濺射法塗鍍類金剛石,研究不同的中間過渡層製備複閤結構層的DLC碳膜,薄膜中含有sp3雜化碳原子含量最高,且膜層外觀結構光滑無裂痕,韌度、界麵結閤彊度、硬度和厚度等性能指標良好.實驗結果對比分析髮現Ti/TiN/TiAlN為過渡層的DLC碳膜抗剝離附著性能好,膜層間的結閤彊度和緻密度大幅提高,塗層的內應力明顯降低,DLC碳膜的綜閤力學性能得到全麵改善.
재복잡형강제건W18Cr4V강기체상채용자공천사법도도류금강석,연구불동적중간과도층제비복합결구층적DLC탄막,박막중함유sp3잡화탄원자함량최고,차막층외관결구광활무렬흔,인도、계면결합강도、경도화후도등성능지표량호.실험결과대비분석발현Ti/TiN/TiAlN위과도층적DLC탄막항박리부착성능호,막층간적결합강도화치밀도대폭제고,도층적내응력명현강저,DLC탄막적종합역학성능득도전면개선.
