上海大学学报（自然科学版）
上海大學學報（自然科學版）
상해대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SHANGHAI UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE EDITION)
2014年
6期
669-679
,共11页
姚洋洋%陈磊%郭剑%钱林茂
姚洋洋%陳磊%郭劍%錢林茂
요양양%진뢰%곽검%전림무
摩擦诱导纳米加工%选择性刻蚀%氮化硅探针%单晶硅
摩抆誘導納米加工%選擇性刻蝕%氮化硅探針%單晶硅
마찰유도납미가공%선택성각식%담화규탐침%단정규
friction-induced nanofabrication%selective etching%silicon nitride probe%monocrystalline silicon
针对传统纳米加工方法存在的操作复杂和成本昂贵等问题,提出采用以表面自然氧化层作为掩膜,结合Si3N4探针扫描和KOH溶液后续选择性刻蚀的摩擦诱导纳米加工方法.基于针尖半径对加工线宽影响的规律,实现了单晶硅表面较小线宽沟槽结构的加工.在此基础上,通过研究沟槽深度随刻蚀时间的变化规律,确定了最佳的刻蚀加工时间,并详细研究了载荷以及针尖扫描次数对表面沟槽结构加工的影响规律.该方法无需专门制备掩膜,操作简单,有望应用于加工功能表面织构、表面微阀、微反应器及单电子器件等,为纳米结构的加工提供了新途径.
針對傳統納米加工方法存在的操作複雜和成本昂貴等問題,提齣採用以錶麵自然氧化層作為掩膜,結閤Si3N4探針掃描和KOH溶液後續選擇性刻蝕的摩抆誘導納米加工方法.基于針尖半徑對加工線寬影響的規律,實現瞭單晶硅錶麵較小線寬溝槽結構的加工.在此基礎上,通過研究溝槽深度隨刻蝕時間的變化規律,確定瞭最佳的刻蝕加工時間,併詳細研究瞭載荷以及針尖掃描次數對錶麵溝槽結構加工的影響規律.該方法無需專門製備掩膜,操作簡單,有望應用于加工功能錶麵織構、錶麵微閥、微反應器及單電子器件等,為納米結構的加工提供瞭新途徑.
침대전통납미가공방법존재적조작복잡화성본앙귀등문제,제출채용이표면자연양화층작위엄막,결합Si3N4탐침소묘화KOH용액후속선택성각식적마찰유도납미가공방법.기우침첨반경대가공선관영향적규률,실현료단정규표면교소선관구조결구적가공.재차기출상,통과연구구조심도수각식시간적변화규률,학정료최가적각식가공시간,병상세연구료재하이급침첨소묘차수대표면구조결구가공적영향규률.해방법무수전문제비엄막,조작간단,유망응용우가공공능표면직구、표면미벌、미반응기급단전자기건등,위납미결구적가공제공료신도경.
