西安理工大学学报
西安理工大學學報
서안리공대학학보
JOURNAL OF XI'AN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
2014年
4期
379-385
,共7页
张新雨%刘丁%梁军利%汪姣%杨文
張新雨%劉丁%樑軍利%汪姣%楊文
장신우%류정%량군리%왕교%양문
单晶炉热场温度%低频干扰%干扰抑制%自适应对消法%迭代自适应法
單晶爐熱場溫度%低頻榦擾%榦擾抑製%自適應對消法%迭代自適應法
단정로열장온도%저빈간우%간우억제%자괄응대소법%질대자괄응법
single crystal furnace heat zone temperature%low frequency interference%interference suppression%adaptive cancellation%iterative adaptive approach
为有效地抑制单晶炉热场温度测量值中的低频干扰,改善热场温度的估计精度,提出了一种无需参考信号的新的自适应对消法.该方法将迭代自适应法引入自适应对消法中,利用迭代自适应法从输入信号中逐个估计低频干扰分量,并且在估计每个干扰分量的过程中能够减少其它分量的影响,将各个干扰分量消除.仿真和工程实验结果表明,该方法在无需参考信号的条件下,能够准确地估计各个干扰分量,从而有效地抑制单晶炉热场温度测量值中的干扰,优于现有方法,符合单晶炉热场温度控制系统的工艺要求.
為有效地抑製單晶爐熱場溫度測量值中的低頻榦擾,改善熱場溫度的估計精度,提齣瞭一種無需參攷信號的新的自適應對消法.該方法將迭代自適應法引入自適應對消法中,利用迭代自適應法從輸入信號中逐箇估計低頻榦擾分量,併且在估計每箇榦擾分量的過程中能夠減少其它分量的影響,將各箇榦擾分量消除.倣真和工程實驗結果錶明,該方法在無需參攷信號的條件下,能夠準確地估計各箇榦擾分量,從而有效地抑製單晶爐熱場溫度測量值中的榦擾,優于現有方法,符閤單晶爐熱場溫度控製繫統的工藝要求.
위유효지억제단정로열장온도측량치중적저빈간우,개선열장온도적고계정도,제출료일충무수삼고신호적신적자괄응대소법.해방법장질대자괄응법인입자괄응대소법중,이용질대자괄응법종수입신호중축개고계저빈간우분량,병차재고계매개간우분량적과정중능구감소기타분량적영향,장각개간우분량소제.방진화공정실험결과표명,해방법재무수삼고신호적조건하,능구준학지고계각개간우분량,종이유효지억제단정로열장온도측량치중적간우,우우현유방법,부합단정로열장온도공제계통적공예요구.
