CAJ | 학술논문

整体涡轮转子是影响分子泵抽真空性能的关键零件。针对分子泵整体涡轮转子的结构特征如多层旋转叶片、对称性要求高以及装夹找正困难等，将空间寻位数控加工技术应用于其多层叶片铣削加工中。加工时首先确定转子毛坯各层叶片轴线所在空间位置，再经空间矩阵变换得到转子1至6层叶片的装夹偏差在X/Y/Z向的偏移分量，在此基础上利用编制的中间转换器一次性修正转子数控加工程序，实现分子泵整体涡轮转子多层叶片的精密铣削加工。
정체와륜전자시영향분자빙추진공성능적관건령건。침대분자빙정체와륜전자적결구특정여다층선전협편、대칭성요구고이급장협조정곤난등，장공간심위수공가공기술응용우기다층협편선삭가공중。가공시수선학정전자모배각층협편축선소재공간위치，재경공간구진변환득도전자1지6층협편적장협편차재X/Y/Z향적편이분량，재차기출상이용편제적중간전환기일차성수정전자수공가공정서，실현분자빙정체와륜전자다층협편적정밀선삭가공。