材料工程
材料工程
재료공정
JOURNAL OF MATERIALS ENGINEERING
2014年
12期
23-27
,共5页
赵淑芳%喻利花%马冰洋%许俊华
趙淑芳%喻利花%馬冰洋%許俊華
조숙방%유리화%마빙양%허준화
磁控溅射%W-Ti-N复合膜%微结构%力学性能%摩擦性能
磁控濺射%W-Ti-N複閤膜%微結構%力學性能%摩抆性能
자공천사%W-Ti-N복합막%미결구%역학성능%마찰성능
magnetron sputtering%W-Ti-N composite film%microstructure%mechanical property%tribological property
采用多靶反应磁控溅射技术制备一系列不同Ti含量的W-Ti-N复合膜.采用X射线衍射仪、扫描电镜、纳米压痕仪等检测方法对薄膜的微结构和力学性能进行表征.采用UMT-2功能摩擦试验机,在室温、大气环境、无润滑的条件下对W-Ti-N复合膜的摩擦性能进行评价,同时,探讨薄膜的致硬机理和摩擦机制.结果表明:Ti含量(原子分数,下同)为5％～23.48％时,薄膜硬度处于峰值区,硬度值最高可达39GPa,摩擦因数在0.4左右.当Ti含量高于23.48％时,硬度随着Ti含量增加而下降,摩擦因数随Ti含量的增加而升高.
採用多靶反應磁控濺射技術製備一繫列不同Ti含量的W-Ti-N複閤膜.採用X射線衍射儀、掃描電鏡、納米壓痕儀等檢測方法對薄膜的微結構和力學性能進行錶徵.採用UMT-2功能摩抆試驗機,在室溫、大氣環境、無潤滑的條件下對W-Ti-N複閤膜的摩抆性能進行評價,同時,探討薄膜的緻硬機理和摩抆機製.結果錶明:Ti含量(原子分數,下同)為5％～23.48％時,薄膜硬度處于峰值區,硬度值最高可達39GPa,摩抆因數在0.4左右.噹Ti含量高于23.48％時,硬度隨著Ti含量增加而下降,摩抆因數隨Ti含量的增加而升高.
채용다파반응자공천사기술제비일계렬불동Ti함량적W-Ti-N복합막.채용X사선연사의、소묘전경、납미압흔의등검측방법대박막적미결구화역학성능진행표정.채용UMT-2공능마찰시험궤,재실온、대기배경、무윤활적조건하대W-Ti-N복합막적마찰성능진행평개,동시,탐토박막적치경궤리화마찰궤제.결과표명:Ti함량(원자분수,하동)위5％～23.48％시,박막경도처우봉치구,경도치최고가체39GPa,마찰인수재0.4좌우.당Ti함량고우23.48％시,경도수착Ti함량증가이하강,마찰인수수Ti함량적증가이승고.
