河北科技师范学院学报
河北科技師範學院學報
하북과기사범학원학보
JOURNAL OF HEBEI NORMAL UNIVERSITY OF SCIENCE & TECHNOLOGY
2014年
4期
36-39
,共4页
王立昆%单崇新%申德振%张振中
王立昆%單崇新%申德振%張振中
왕립곤%단숭신%신덕진%장진중
立方相Mg0.25Zn0.75O%日盲探测器%金属有机气相沉积
立方相Mg0.25Zn0.75O%日盲探測器%金屬有機氣相沉積
립방상Mg0.25Zn0.75O%일맹탐측기%금속유궤기상침적
采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法在Si衬底上实现了立方结构的Mg0.25Zn0.75O薄膜生长.在此基础上,实现了Mg0.25Zn0.75 O/n-Si异质结型日盲紫外探测器.该探测器在-5V偏压下,器件暗电流为0.02 mA.在0V偏压下的峰值响应位于大约280 nm处,响应度为1.2 mA/W.
採用金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)方法在Si襯底上實現瞭立方結構的Mg0.25Zn0.75O薄膜生長.在此基礎上,實現瞭Mg0.25Zn0.75 O/n-Si異質結型日盲紫外探測器.該探測器在-5V偏壓下,器件暗電流為0.02 mA.在0V偏壓下的峰值響應位于大約280 nm處,響應度為1.2 mA/W.
채용금속유궤화학기상침적(MOCVD)방법재Si츤저상실현료립방결구적Mg0.25Zn0.75O박막생장.재차기출상,실현료Mg0.25Zn0.75 O/n-Si이질결형일맹자외탐측기.해탐측기재-5V편압하,기건암전류위0.02 mA.재0V편압하적봉치향응위우대약280 nm처,향응도위1.2 mA/W.
