电子测量技术
電子測量技術
전자측량기술
ELECTRONIC MEASUREMENT TECHNOLOGY
2014年
12期
58-61
,共4页
王少阳%张瑞峰%孙晓伟%杨庆
王少暘%張瑞峰%孫曉偉%楊慶
왕소양%장서봉%손효위%양경
MEMS%频闪显微干涉%FPGA%声光调制器%千兆网相机
MEMS%頻閃顯微榦涉%FPGA%聲光調製器%韆兆網相機
MEMS%빈섬현미간섭%FPGA%성광조제기%천조망상궤
MEMS%SIVS%FPGA%AOM%Gigabit ethernet camera
基于频闪显微干涉(stroboscopic interferometer vision system,SIVS)技术,提出了一种MEMS三维动态测量的同步控制系统.在该系统中,频闪的参数通过有USB功能的MCU从PC配置到FPGA中,然后由FPGA分别控制测量系统中的声光调制器、MEMS驱动器、微动平移台和千兆网相机.结合开发的应用软件,可以实时测量MEMS的运动.计算表明,使用该系统所能测量的MEMS的理论最高周期运动频率为1 MHz.实验证明这种方法行之有效.
基于頻閃顯微榦涉(stroboscopic interferometer vision system,SIVS)技術,提齣瞭一種MEMS三維動態測量的同步控製繫統.在該繫統中,頻閃的參數通過有USB功能的MCU從PC配置到FPGA中,然後由FPGA分彆控製測量繫統中的聲光調製器、MEMS驅動器、微動平移檯和韆兆網相機.結閤開髮的應用軟件,可以實時測量MEMS的運動.計算錶明,使用該繫統所能測量的MEMS的理論最高週期運動頻率為1 MHz.實驗證明這種方法行之有效.
기우빈섬현미간섭(stroboscopic interferometer vision system,SIVS)기술,제출료일충MEMS삼유동태측량적동보공제계통.재해계통중,빈섬적삼수통과유USB공능적MCU종PC배치도FPGA중,연후유FPGA분별공제측량계통중적성광조제기、MEMS구동기、미동평이태화천조망상궤.결합개발적응용연건,가이실시측량MEMS적운동.계산표명,사용해계통소능측량적MEMS적이론최고주기운동빈솔위1 MHz.실험증명저충방법행지유효.
