哈尔滨理工大学学报
哈爾濱理工大學學報
합이빈리공대학학보
JOURNAL OF HARBIN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
2014年
6期
17-21
,共5页
李东洁%王德宝%宋鉴%张越
李東潔%王德寶%宋鑒%張越
리동길%왕덕보%송감%장월
纳米操作%三维定位%扫描电子显微镜图像%图像相似度%亚像素边缘检测
納米操作%三維定位%掃描電子顯微鏡圖像%圖像相似度%亞像素邊緣檢測
납미조작%삼유정위%소묘전자현미경도상%도상상사도%아상소변연검측
nanomanipulation%three-dimensional positioning%scanning electron microscope images%image similarity degrees%dub-pixel edge detection
在基于扫描电子显微镜(SEM)的纳米操作系统中,针对获取多视角图像比较困难,而单视角图像缺乏三维信息的问题.为了研究如何从单视角SEM图像中快速的实现操作工具的三维精确定位,采用基于梯度方向高斯曲线拟合亚像素的定位方法来实现水平坐标信息的精确定位,和基于图像相似度的原理来精确获取操控工具的垂直坐标信息.从单视角SEM图像中获取的实验数据表明,水平坐标信息已达到了亚像素级别的精确定位要求,而垂直坐标信息也可以在小范围移动中进行精确定位.
在基于掃描電子顯微鏡(SEM)的納米操作繫統中,針對穫取多視角圖像比較睏難,而單視角圖像缺乏三維信息的問題.為瞭研究如何從單視角SEM圖像中快速的實現操作工具的三維精確定位,採用基于梯度方嚮高斯麯線擬閤亞像素的定位方法來實現水平坐標信息的精確定位,和基于圖像相似度的原理來精確穫取操控工具的垂直坐標信息.從單視角SEM圖像中穫取的實驗數據錶明,水平坐標信息已達到瞭亞像素級彆的精確定位要求,而垂直坐標信息也可以在小範圍移動中進行精確定位.
재기우소묘전자현미경(SEM)적납미조작계통중,침대획취다시각도상비교곤난,이단시각도상결핍삼유신식적문제.위료연구여하종단시각SEM도상중쾌속적실현조작공구적삼유정학정위,채용기우제도방향고사곡선의합아상소적정위방법래실현수평좌표신식적정학정위,화기우도상상사도적원리래정학획취조공공구적수직좌표신식.종단시각SEM도상중획취적실험수거표명,수평좌표신식이체도료아상소급별적정학정위요구,이수직좌표신식야가이재소범위이동중진행정학정위.
