光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2015年
2期
89-94
,共6页
干涉测量%Lissajous 标定%随机相移误差
榦涉測量%Lissajous 標定%隨機相移誤差
간섭측량%Lissajous 표정%수궤상이오차
interferometry%Lissajous calibration%random phase shift errors
将Lissajous 标定技术应用到相移干涉测量的相移算法(PSA)中,提出一种基于Lissajous标定技术的随机相移误差校正算法。该算法不需要计算各帧干涉图之间的实际相移量,直接用Lissajous标定和椭圆拟合的方法计算相移算法的相位提取误差(包括离焦、偏倚、相移量偏差)然后进行校正。数值模拟结果表明:该算法不需要迭代运算就能从大于3帧的带有随机相移误差的干涉图中有效恢复出正确的相位信息,运算时间少,计算精度高并且适合于所有的相移算法。实验结果表明:基于Lissajous标定技术的随机相移误差校正算法与现有的迭代随机相移算法(AIA)精度相当,但计算速度得到明显提升。
將Lissajous 標定技術應用到相移榦涉測量的相移算法(PSA)中,提齣一種基于Lissajous標定技術的隨機相移誤差校正算法。該算法不需要計算各幀榦涉圖之間的實際相移量,直接用Lissajous標定和橢圓擬閤的方法計算相移算法的相位提取誤差(包括離焦、偏倚、相移量偏差)然後進行校正。數值模擬結果錶明:該算法不需要迭代運算就能從大于3幀的帶有隨機相移誤差的榦涉圖中有效恢複齣正確的相位信息,運算時間少,計算精度高併且適閤于所有的相移算法。實驗結果錶明:基于Lissajous標定技術的隨機相移誤差校正算法與現有的迭代隨機相移算法(AIA)精度相噹,但計算速度得到明顯提升。
장Lissajous 표정기술응용도상이간섭측량적상이산법(PSA)중,제출일충기우Lissajous표정기술적수궤상이오차교정산법。해산법불수요계산각정간섭도지간적실제상이량,직접용Lissajous표정화타원의합적방법계산상이산법적상위제취오차(포괄리초、편의、상이량편차)연후진행교정。수치모의결과표명:해산법불수요질대운산취능종대우3정적대유수궤상이오차적간섭도중유효회복출정학적상위신식,운산시간소,계산정도고병차괄합우소유적상이산법。실험결과표명:기우Lissajous표정기술적수궤상이오차교정산법여현유적질대수궤상이산법(AIA)정도상당,단계산속도득도명현제승。
An algorithm of correction of random phase-shifts error is proposed by applying Lissajous calibration technology to PSI. Proposed method does not have to calculate the true phase shifts of each interferogram, which directly estimate the phase extraction error (typically a non linear combination of offset, bias, less of quadrature) of PSA first and then correct them. Simulation results show that proposed method can effectively correct the phase extraction error from a series of (>3) interferograms with random phase-shifts errors without any iterations. The algorithm is fast, accurate and adapt to all kinds of PSAs. Experimental results indicate that proposed method has a comparative precision with AIA but is far faster than AIA.