光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2015年
1期
230-236
,共7页
李同保%翁浚婧%雷李华%李源%蔡潇雨%马艳
李同保%翁浚婧%雷李華%李源%蔡瀟雨%馬豔
리동보%옹준청%뢰리화%리원%채소우%마염
快速傅里叶变换法%线节距%一维线间隔标准样板%微纳米计量
快速傅裏葉變換法%線節距%一維線間隔標準樣闆%微納米計量
쾌속부리협변환법%선절거%일유선간격표준양판%미납미계량
Fast Fourier Transforms(FFT) method%pitch%one dimensional grating%micro-nano scale metrology
由于利用快速傅里叶变换(FFT)法定量测量标准样板的平均节距时会因为频谱分辨率△f有限而在数据分析过程中丢失信息,故本文对常用的FFT法进行了改进.首先在FFT的频谱中得到最大振幅值对应的频率分量fmax,使用二分法缩小fmax附近的频率范围;然后利用连续傅里叶变换法寻找更大的振幅值与更精确的fmax以求得更接近真实值的线节距.为了验证该方法的可行性,利用Matlab软件仿真被测标准样板(TGD1)的轮廓图,比较了FFT与改进后的FFT对不同扫描长度下数据的评估结果,并展示了改进FFT法评估时部分数据的运算过程.同时,通过计量型原子力显微镜实测20 μm×2μm内的TGD1形貌.两种评估法下的数据比对结果显示:改进FFT评估后的线节距为(277.84±0.39) nm,符合标称值(278±1)nm,验证了改进后FFT方法对线节距求解的准确性与合理性.
由于利用快速傅裏葉變換(FFT)法定量測量標準樣闆的平均節距時會因為頻譜分辨率△f有限而在數據分析過程中丟失信息,故本文對常用的FFT法進行瞭改進.首先在FFT的頻譜中得到最大振幅值對應的頻率分量fmax,使用二分法縮小fmax附近的頻率範圍;然後利用連續傅裏葉變換法尋找更大的振幅值與更精確的fmax以求得更接近真實值的線節距.為瞭驗證該方法的可行性,利用Matlab軟件倣真被測標準樣闆(TGD1)的輪廓圖,比較瞭FFT與改進後的FFT對不同掃描長度下數據的評估結果,併展示瞭改進FFT法評估時部分數據的運算過程.同時,通過計量型原子力顯微鏡實測20 μm×2μm內的TGD1形貌.兩種評估法下的數據比對結果顯示:改進FFT評估後的線節距為(277.84±0.39) nm,符閤標稱值(278±1)nm,驗證瞭改進後FFT方法對線節距求解的準確性與閤理性.
유우이용쾌속부리협변환(FFT)법정량측량표준양판적평균절거시회인위빈보분변솔△f유한이재수거분석과정중주실신식,고본문대상용적FFT법진행료개진.수선재FFT적빈보중득도최대진폭치대응적빈솔분량fmax,사용이분법축소fmax부근적빈솔범위;연후이용련속부리협변환법심조경대적진폭치여경정학적fmax이구득경접근진실치적선절거.위료험증해방법적가행성,이용Matlab연건방진피측표준양판(TGD1)적륜곽도,비교료FFT여개진후적FFT대불동소묘장도하수거적평고결과,병전시료개진FFT법평고시부분수거적운산과정.동시,통과계량형원자력현미경실측20 μm×2μm내적TGD1형모.량충평고법하적수거비대결과현시:개진FFT평고후적선절거위(277.84±0.39) nm,부합표칭치(278±1)nm,험증료개진후FFT방법대선절거구해적준학성여합이성.
