光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2015年
1期
271-281
,共11页
显微图像%边缘检测%矩不变理论%方向信息测度%轴向邻域和差
顯微圖像%邊緣檢測%矩不變理論%方嚮信息測度%軸嚮鄰域和差
현미도상%변연검측%구불변이론%방향신식측도%축향린역화차
microscopic image%edge detection%moment invariant%orientation information measure%Sum and Difference of Neighborhoods along Axis(SDNAA)
为了在简化计算的同时达到较高的定位精度,提出一种轴向邻域和差边缘检测算法,用于低信噪比、缓慢过渡的微结构显微图像的边缘检测.首先,结合显微图像采集系统的配置,分析了线纹显微图像边缘灰度轮廓特征和基于导数的边缘检测算法的不足.然后,基于方向信息测度,定义了轴向邻域和差运算,依据矩不变理论推导出轴向邻域和差边缘检测算法.实验结果表明:轴向邻域和差边缘检测算法能够适应不同分辨率的显微图像,具有较强的抗噪能力和较高的定位精度,边缘检测效果优于基于导数的算法.该算法用于显微图像时,其边缘坐标定位方差为0.57 pixel,微米级线条宽度的测量结果与扫描电子显微镜的测量结果(1.35 μm)相差0.17 μm,基本满足了测量精度的要求.
為瞭在簡化計算的同時達到較高的定位精度,提齣一種軸嚮鄰域和差邊緣檢測算法,用于低信譟比、緩慢過渡的微結構顯微圖像的邊緣檢測.首先,結閤顯微圖像採集繫統的配置,分析瞭線紋顯微圖像邊緣灰度輪廓特徵和基于導數的邊緣檢測算法的不足.然後,基于方嚮信息測度,定義瞭軸嚮鄰域和差運算,依據矩不變理論推導齣軸嚮鄰域和差邊緣檢測算法.實驗結果錶明:軸嚮鄰域和差邊緣檢測算法能夠適應不同分辨率的顯微圖像,具有較彊的抗譟能力和較高的定位精度,邊緣檢測效果優于基于導數的算法.該算法用于顯微圖像時,其邊緣坐標定位方差為0.57 pixel,微米級線條寬度的測量結果與掃描電子顯微鏡的測量結果(1.35 μm)相差0.17 μm,基本滿足瞭測量精度的要求.
위료재간화계산적동시체도교고적정위정도,제출일충축향린역화차변연검측산법,용우저신조비、완만과도적미결구현미도상적변연검측.수선,결합현미도상채집계통적배치,분석료선문현미도상변연회도륜곽특정화기우도수적변연검측산법적불족.연후,기우방향신식측도,정의료축향린역화차운산,의거구불변이론추도출축향린역화차변연검측산법.실험결과표명:축향린역화차변연검측산법능구괄응불동분변솔적현미도상,구유교강적항조능력화교고적정위정도,변연검측효과우우기우도수적산법.해산법용우현미도상시,기변연좌표정위방차위0.57 pixel,미미급선조관도적측량결과여소묘전자현미경적측량결과(1.35 μm)상차0.17 μm,기본만족료측량정도적요구.
