光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2015年
1期
252-259
,共8页
刘乾%王洋%吉方%何建国%张连新
劉乾%王洋%吉方%何建國%張連新
류건%왕양%길방%하건국%장련신
移相干涉术%确定性加工%振动%频域分析%现场测量
移相榦涉術%確定性加工%振動%頻域分析%現場測量
이상간섭술%학정성가공%진동%빈역분석%현장측량
phase-shifting interferometry%deterministic manufacturing%vibration%frequency domain analysis%on-machine testing
针对移相干涉测量中振动引起的移相误差和对比度变化,提出了一种从空间载波干涉图频谱中提取移相和对比度信息的方法.该方法通过分析载波干涉图频谱,从基带和边带中提取移相和对比度信息,运用最小二乘法补偿对比度变化并复原波前位相.最后采用构造平滑孔径函数对带有孔径的干涉图进行处理.数值仿真证明:提出的方法可以高精度检测移相量和对比度变化,能够有效补偿因对比度变化引起的位相复原误差.在频率为9 Hz、幅度为0.5 μm的简谐振动条件下实验验证了本文方法的实用性.结果显示:从受振动干扰的干涉图中复原平晶表面时,其复原误差PV值小于0.015波长.该方法无需硬件改动,有望为移相干涉测量应用于现场测量提供一种低成本的解决方法.
針對移相榦涉測量中振動引起的移相誤差和對比度變化,提齣瞭一種從空間載波榦涉圖頻譜中提取移相和對比度信息的方法.該方法通過分析載波榦涉圖頻譜,從基帶和邊帶中提取移相和對比度信息,運用最小二乘法補償對比度變化併複原波前位相.最後採用構造平滑孔徑函數對帶有孔徑的榦涉圖進行處理.數值倣真證明:提齣的方法可以高精度檢測移相量和對比度變化,能夠有效補償因對比度變化引起的位相複原誤差.在頻率為9 Hz、幅度為0.5 μm的簡諧振動條件下實驗驗證瞭本文方法的實用性.結果顯示:從受振動榦擾的榦涉圖中複原平晶錶麵時,其複原誤差PV值小于0.015波長.該方法無需硬件改動,有望為移相榦涉測量應用于現場測量提供一種低成本的解決方法.
침대이상간섭측량중진동인기적이상오차화대비도변화,제출료일충종공간재파간섭도빈보중제취이상화대비도신식적방법.해방법통과분석재파간섭도빈보,종기대화변대중제취이상화대비도신식,운용최소이승법보상대비도변화병복원파전위상.최후채용구조평활공경함수대대유공경적간섭도진행처리.수치방진증명:제출적방법가이고정도검측이상량화대비도변화,능구유효보상인대비도변화인기적위상복원오차.재빈솔위9 Hz、폭도위0.5 μm적간해진동조건하실험험증료본문방법적실용성.결과현시:종수진동간우적간섭도중복원평정표면시,기복원오차PV치소우0.015파장.해방법무수경건개동,유망위이상간섭측량응용우현장측량제공일충저성본적해결방법.
