强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2015年
2期
162-167
,共6页
损耗机制%射频微机电系统%电容式开关%共面波导
損耗機製%射頻微機電繫統%電容式開關%共麵波導
손모궤제%사빈미궤전계통%전용식개관%공면파도
loss mechanism%radio frequency micro-electro-mechanical systems%capacitive switch%coplanar waveguide
插入损耗是射频微机电系统(RF MEMS)开关的关键性能指标之一.电容式RF MEMS开关是一种适合高频应用的开关器件,对其损耗机制进行了研究.电容式RF MEMS开关的射频损耗主要包括四部分:信号线的导体损耗、衬底损耗、辐射损耗以及MEMS桥损耗.对电容式RF MEMS开关建立了损耗模型并进行了数值计算,同时在HFSS有限元软件中进行了电磁仿真,数值计算结果和有限元仿真结果较好的吻合.此外,对影响电容式RF MEMS开关插入损耗的因素进行了分析,结果表明,高阻抗的衬底、200 μm左右的导体宽度、较小的导体厚度以及较小的up态电容能够降低开关的插入损耗,提高开关的射频性能.
插入損耗是射頻微機電繫統(RF MEMS)開關的關鍵性能指標之一.電容式RF MEMS開關是一種適閤高頻應用的開關器件,對其損耗機製進行瞭研究.電容式RF MEMS開關的射頻損耗主要包括四部分:信號線的導體損耗、襯底損耗、輻射損耗以及MEMS橋損耗.對電容式RF MEMS開關建立瞭損耗模型併進行瞭數值計算,同時在HFSS有限元軟件中進行瞭電磁倣真,數值計算結果和有限元倣真結果較好的吻閤.此外,對影響電容式RF MEMS開關插入損耗的因素進行瞭分析,結果錶明,高阻抗的襯底、200 μm左右的導體寬度、較小的導體厚度以及較小的up態電容能夠降低開關的插入損耗,提高開關的射頻性能.
삽입손모시사빈미궤전계통(RF MEMS)개관적관건성능지표지일.전용식RF MEMS개관시일충괄합고빈응용적개관기건,대기손모궤제진행료연구.전용식RF MEMS개관적사빈손모주요포괄사부분:신호선적도체손모、츤저손모、복사손모이급MEMS교손모.대전용식RF MEMS개관건립료손모모형병진행료수치계산,동시재HFSS유한원연건중진행료전자방진,수치계산결과화유한원방진결과교호적문합.차외,대영향전용식RF MEMS개관삽입손모적인소진행료분석,결과표명,고조항적츤저、200 μm좌우적도체관도、교소적도체후도이급교소적up태전용능구강저개관적삽입손모,제고개관적사빈성능.
