强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2015年
2期
157-161
,共5页
超透镜光刻%亚波长成像%周期性结构%孤立结构
超透鏡光刻%亞波長成像%週期性結構%孤立結構
초투경광각%아파장성상%주기성결구%고립결구
superlens nanolithography%subwavelength imaging%periodic structures%isolated structures
超透镜光刻技术是一种很有前景的纳米结构成像技术,由于其具有可以克服衍射极限的能力,直到2005年,张翔和他的同事在365 nm紫外线波长下成功的对一排纳米线和刻在高分子膜上的四个字母“NANO”实现了超分辨成像,分辨率高达1/6入射波长.通过传递矩阵方法优化出超透镜结构,并通过选择适当的材料和设计在超透镜结构中的每个层的厚度以及合理的优化实验等方法制备一个新的超透镜结构,利用这种超透镜结构实现了周期性纳米结构及孤立纳米结构的亚波长成像.实验结果表明,对于周期性的纳米结构,其图像分辨率达到100 nm,而孤立结构的分辨率低于50 nm,小于入射波长的1/7.
超透鏡光刻技術是一種很有前景的納米結構成像技術,由于其具有可以剋服衍射極限的能力,直到2005年,張翔和他的同事在365 nm紫外線波長下成功的對一排納米線和刻在高分子膜上的四箇字母“NANO”實現瞭超分辨成像,分辨率高達1/6入射波長.通過傳遞矩陣方法優化齣超透鏡結構,併通過選擇適噹的材料和設計在超透鏡結構中的每箇層的厚度以及閤理的優化實驗等方法製備一箇新的超透鏡結構,利用這種超透鏡結構實現瞭週期性納米結構及孤立納米結構的亞波長成像.實驗結果錶明,對于週期性的納米結構,其圖像分辨率達到100 nm,而孤立結構的分辨率低于50 nm,小于入射波長的1/7.
초투경광각기술시일충흔유전경적납미결구성상기술,유우기구유가이극복연사겁한적능력,직도2005년,장상화타적동사재365 nm자외선파장하성공적대일배납미선화각재고분자막상적사개자모“NANO”실현료초분변성상,분변솔고체1/6입사파장.통과전체구진방법우화출초투경결구,병통과선택괄당적재료화설계재초투경결구중적매개층적후도이급합리적우화실험등방법제비일개신적초투경결구,이용저충초투경결구실현료주기성납미결구급고립납미결구적아파장성상.실험결과표명,대우주기성적납미결구,기도상분변솔체도100 nm,이고립결구적분변솔저우50 nm,소우입사파장적1/7.
