强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2015年
2期
108-112
,共5页
骆亮%李明慧%马可贞%张安富%薛晨阳%张文栋%闫树斌
駱亮%李明慧%馬可貞%張安富%薛晨暘%張文棟%閆樹斌
락량%리명혜%마가정%장안부%설신양%장문동%염수빈
微环谐振腔%多光束干涉%纹波%光栅
微環諧振腔%多光束榦涉%紋波%光柵
미배해진강%다광속간섭%문파%광책
micro-ring resonator%Fabry-Perot interferometer%ripple signal%gratings
基于绝缘体上硅材料(SOD的微环谐振腔作为各种集成微光学器件的核心部件,其传输特性的好坏直接决定微光学器件的性能优劣.结合微环谐振腔理论和多光束干涉原理对微环谐振腔测试信号中纹波的产生原因和影响因素进行了分析,通过耦合实验测试得到了纹波信号的特征参数并进行了分析,实验结果与仿真分析吻合.进一步分析了耦合光栅刻蚀深度对纹波幅值的影响及原因,为微环谐振腔结构参数的进一步优化和微环谐振腔传感系统误差分析提供了依据.
基于絕緣體上硅材料(SOD的微環諧振腔作為各種集成微光學器件的覈心部件,其傳輸特性的好壞直接決定微光學器件的性能優劣.結閤微環諧振腔理論和多光束榦涉原理對微環諧振腔測試信號中紋波的產生原因和影響因素進行瞭分析,通過耦閤實驗測試得到瞭紋波信號的特徵參數併進行瞭分析,實驗結果與倣真分析吻閤.進一步分析瞭耦閤光柵刻蝕深度對紋波幅值的影響及原因,為微環諧振腔結構參數的進一步優化和微環諧振腔傳感繫統誤差分析提供瞭依據.
기우절연체상규재료(SOD적미배해진강작위각충집성미광학기건적핵심부건,기전수특성적호배직접결정미광학기건적성능우렬.결합미배해진강이론화다광속간섭원리대미배해진강측시신호중문파적산생원인화영향인소진행료분석,통과우합실험측시득도료문파신호적특정삼수병진행료분석,실험결과여방진분석문합.진일보분석료우합광책각식심도대문파폭치적영향급원인,위미배해진강결구삼수적진일보우화화미배해진강전감계통오차분석제공료의거.
