强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2015年
2期
99-103
,共5页
熊壮%Bernard Legrand
熊壯%Bernard Legrand
웅장%Bernard Legrand
微机电系统谐振器%热执行%压阻敏感%原子力显微镜探针
微機電繫統諧振器%熱執行%壓阻敏感%原子力顯微鏡探針
미궤전계통해진기%열집행%압조민감%원자력현미경탐침
MEMS resonator%thermal driving%piezoresistive sensing%AFM probe
为克服既有原子力显微镜(AFM)悬臂式探针的谐振频率难以超过3.5 MHz,Q值低、成像速度低及在液体中成像效果欠佳等缺点,设计并制作了一种基于微机电系统(MEMS)谐振器的I2形探针,并成功实现了成像实验.为更进一步提高12形探针的力灵敏度,从结构设计和检测方法入手,对原有探针进行改进.设计了简单有效的电阻差分检测方法,成功去处了输入端与输出端的耦合现象;采用局部离子注入的方法,提高了压阻敏感的传输效率.实验结果显示,在输入信号相同的条件下,改进后探针的输出信号与原有探针相比,输出信号得到了明显提高.计算结果表明,采用新方法制作的探针可使力灵敏度提高10倍以上.
為剋服既有原子力顯微鏡(AFM)懸臂式探針的諧振頻率難以超過3.5 MHz,Q值低、成像速度低及在液體中成像效果欠佳等缺點,設計併製作瞭一種基于微機電繫統(MEMS)諧振器的I2形探針,併成功實現瞭成像實驗.為更進一步提高12形探針的力靈敏度,從結構設計和檢測方法入手,對原有探針進行改進.設計瞭簡單有效的電阻差分檢測方法,成功去處瞭輸入耑與輸齣耑的耦閤現象;採用跼部離子註入的方法,提高瞭壓阻敏感的傳輸效率.實驗結果顯示,在輸入信號相同的條件下,改進後探針的輸齣信號與原有探針相比,輸齣信號得到瞭明顯提高.計算結果錶明,採用新方法製作的探針可使力靈敏度提高10倍以上.
위극복기유원자력현미경(AFM)현비식탐침적해진빈솔난이초과3.5 MHz,Q치저、성상속도저급재액체중성상효과흠가등결점,설계병제작료일충기우미궤전계통(MEMS)해진기적I2형탐침,병성공실현료성상실험.위경진일보제고12형탐침적력령민도,종결구설계화검측방법입수,대원유탐침진행개진.설계료간단유효적전조차분검측방법,성공거처료수입단여수출단적우합현상;채용국부리자주입적방법,제고료압조민감적전수효솔.실험결과현시,재수입신호상동적조건하,개진후탐침적수출신호여원유탐침상비,수출신호득도료명현제고.계산결과표명,채용신방법제작적탐침가사력령민도제고10배이상.
