西北大学学报（自然科学版）
西北大學學報（自然科學版）
서북대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF NORTHWEST UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2015年
2期
229-232
,共4页
4H-SiC%拉曼光谱%掺杂浓度%LOPC模
4H-SiC%拉曼光譜%摻雜濃度%LOPC模
4H-SiC%랍만광보%참잡농도%LOPC모
4H-SiC%Raman spectroscopy%doping concentration%LOPC mode
在4H-SiC(0001)衬底上,使用CVD法生长不同掺杂浓度的外延层.将不同掺杂浓度的4H-SiC外延层,用拉曼散射光谱进行了研究.使用Matlab拟合了LOPC模的线型,并从理论上计算出载流子浓度,载流子浓度的理论计算值与SIMS测量的结果符合良好.随着掺杂浓度的变大,载流子浓度变大,LOPC峰发生蓝移,频移变大,散射强度变小,峰宽变宽.分析认为,LOPC峰发生蓝移主要和晶格振动有关,浓度越大,使得原子之间和晶胞之间的相互作用越强,致使出现蓝移现象.随着掺杂浓度的增大,声子增加,进而散射概率增加,散射概率降低了声子寿命,声子寿命和峰宽成反比,随着掺杂浓度增大,峰宽变宽.随着掺杂浓度的增大,散射强度越来越小.
在4H-SiC(0001)襯底上,使用CVD法生長不同摻雜濃度的外延層.將不同摻雜濃度的4H-SiC外延層,用拉曼散射光譜進行瞭研究.使用Matlab擬閤瞭LOPC模的線型,併從理論上計算齣載流子濃度,載流子濃度的理論計算值與SIMS測量的結果符閤良好.隨著摻雜濃度的變大,載流子濃度變大,LOPC峰髮生藍移,頻移變大,散射彊度變小,峰寬變寬.分析認為,LOPC峰髮生藍移主要和晶格振動有關,濃度越大,使得原子之間和晶胞之間的相互作用越彊,緻使齣現藍移現象.隨著摻雜濃度的增大,聲子增加,進而散射概率增加,散射概率降低瞭聲子壽命,聲子壽命和峰寬成反比,隨著摻雜濃度增大,峰寬變寬.隨著摻雜濃度的增大,散射彊度越來越小.
재4H-SiC(0001)츤저상,사용CVD법생장불동참잡농도적외연층.장불동참잡농도적4H-SiC외연층,용랍만산사광보진행료연구.사용Matlab의합료LOPC모적선형,병종이론상계산출재류자농도,재류자농도적이론계산치여SIMS측량적결과부합량호.수착참잡농도적변대,재류자농도변대,LOPC봉발생람이,빈이변대,산사강도변소,봉관변관.분석인위,LOPC봉발생람이주요화정격진동유관,농도월대,사득원자지간화정포지간적상호작용월강,치사출현람이현상.수착참잡농도적증대,성자증가,진이산사개솔증가,산사개솔강저료성자수명,성자수명화봉관성반비,수착참잡농도증대,봉관변관.수착참잡농도적증대,산사강도월래월소.
