实验科学与技术
實驗科學與技術
실험과학여기술
EXPERIMENT SCIENCE AND TECHNOLOGY
2015年
1期
25-26,30
,共3页
反应离子刻蚀%硅%刻蚀速率%选择比%均匀性
反應離子刻蝕%硅%刻蝕速率%選擇比%均勻性
반응리자각식%규%각식속솔%선택비%균균성
采用SF6和O2为刻蚀气体,在275 m(torr)的反应压力下对硅进行了反应离子刻蚀实验研究.通过不断调节射频功率、刻蚀气体的流量等系列对比实验,研究、探索并优化了对硅的反应离子刻蚀工艺条件.实验研究得出的最优化条件:射频功率为120 W,SF6和O2的流量为36 cm3/s和6 cm3/s.在该工艺条件下获得三个重要的刻蚀参数:刻蚀速率为1 036nm/min,对氧化物的选择比为56.6,均匀性为4.41％.
採用SF6和O2為刻蝕氣體,在275 m(torr)的反應壓力下對硅進行瞭反應離子刻蝕實驗研究.通過不斷調節射頻功率、刻蝕氣體的流量等繫列對比實驗,研究、探索併優化瞭對硅的反應離子刻蝕工藝條件.實驗研究得齣的最優化條件:射頻功率為120 W,SF6和O2的流量為36 cm3/s和6 cm3/s.在該工藝條件下穫得三箇重要的刻蝕參數:刻蝕速率為1 036nm/min,對氧化物的選擇比為56.6,均勻性為4.41％.
채용SF6화O2위각식기체,재275 m(torr)적반응압력하대규진행료반응리자각식실험연구.통과불단조절사빈공솔、각식기체적류량등계렬대비실험,연구、탐색병우화료대규적반응리자각식공예조건.실험연구득출적최우화조건:사빈공솔위120 W,SF6화O2적류량위36 cm3/s화6 cm3/s.재해공예조건하획득삼개중요적각식삼수:각식속솔위1 036nm/min,대양화물적선택비위56.6,균균성위4.41％.
