全自动晶圆电镀系统软件开发
전자동정원전도계통연건개발
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  • 万方数据
    机械制造 궤계제조
    MACHINERY
    2015年 4期 22-25 ,共4页

    桂志刚%陆利新%明志发%王博文%郭帅

    계지강%륙리신%명지발%왕박문%곽수

    LabVIEW%多线程%晶圆%电镀 LabVIEW%多線程%晶圓%電鍍
    LabVIEW%다선정%정원%전도
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    根据客户需求自主开发全自动晶圆电镀设备,研究了基于LabVIEW模块化控制系统的设计,完成了多线程协调控制以及多线程间数据交换技术,实现了对晶圆自动化电镀设备的协调控制,达到预期设计的目的.
    근거객호수구자주개발전자동정원전도설비,연구료기우LabVIEW모괴화공제계통적설계,완성료다선정협조공제이급다선정간수거교환기술,실현료대정원자동화전도설비적협조공제,체도예기설계적목적.
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