能源工程
能源工程
능원공정
ENERGY ENGINEERING
2015年
1期
1-6
,共6页
陈祖良%李兆龙%岳巍%王华明%何明明%毛咏甬%项延赵
陳祖良%李兆龍%嶽巍%王華明%何明明%毛詠甬%項延趙
진조량%리조룡%악외%왕화명%하명명%모영용%항연조
可控硅%电子辐照%门极触发电流%通态电压%反退火
可控硅%電子輻照%門極觸髮電流%通態電壓%反退火
가공규%전자복조%문겁촉발전류%통태전압%반퇴화
应用电子束射线对单向微触发可控硅晶圆片进行不同条件的辐照,使用晶体管图示仪测试其门板触发电流和通态电压,研究了辐照剂量、剂量率对门板触发电流和通态电压的影响,使用不同的退火工艺对辐照后的可控硅进行退火实验,监测其退火后参数的变化.实验表明,门极触发电流随辐照剂量的增加而迅速增大,辐照剂量在20 kGy以下时,通态电压基本没有增加;门极触发电流在可控硅约225℃以下退火时,存在反退火现象,继续提高退火温度又表现出正常的退火结果;1.5 MeV电子辐照技术不仅能有效提高可控硅门极触发电流,还能提高晶圆片门板触发电流的一致性.
應用電子束射線對單嚮微觸髮可控硅晶圓片進行不同條件的輻照,使用晶體管圖示儀測試其門闆觸髮電流和通態電壓,研究瞭輻照劑量、劑量率對門闆觸髮電流和通態電壓的影響,使用不同的退火工藝對輻照後的可控硅進行退火實驗,鑑測其退火後參數的變化.實驗錶明,門極觸髮電流隨輻照劑量的增加而迅速增大,輻照劑量在20 kGy以下時,通態電壓基本沒有增加;門極觸髮電流在可控硅約225℃以下退火時,存在反退火現象,繼續提高退火溫度又錶現齣正常的退火結果;1.5 MeV電子輻照技術不僅能有效提高可控硅門極觸髮電流,還能提高晶圓片門闆觸髮電流的一緻性.
응용전자속사선대단향미촉발가공규정원편진행불동조건적복조,사용정체관도시의측시기문판촉발전류화통태전압,연구료복조제량、제량솔대문판촉발전류화통태전압적영향,사용불동적퇴화공예대복조후적가공규진행퇴화실험,감측기퇴화후삼수적변화.실험표명,문겁촉발전류수복조제량적증가이신속증대,복조제량재20 kGy이하시,통태전압기본몰유증가;문겁촉발전류재가공규약225℃이하퇴화시,존재반퇴화현상,계속제고퇴화온도우표현출정상적퇴화결과;1.5 MeV전자복조기술불부능유효제고가공규문겁촉발전류,환능제고정원편문판촉발전류적일치성.
