青岛科技大学学报（自然科学版）
青島科技大學學報（自然科學版）
청도과기대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF QINGDAO UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2015年
1期
77-79,101
,共4页
活性屏离子渗氮%大尺寸活性屏%偏压“阈值”%自溅射
活性屏離子滲氮%大呎吋活性屏%偏壓“閾值”%自濺射
활성병리자삼담%대척촌활성병%편압“역치”%자천사
active screen plasma nitriding (ASPN)%a large-diameter active screen%the bias threshold%sputtered
通过采用大尺寸活性屏进行等离子渗氮处理,研究和分析了偏压及其“阈值”对大尺寸活性屏渗氮的影响.实验结果表明:采用大尺寸活性屏渗氮时,加在工件上的偏压是一个决定性的因素,只有当负偏压大于“阈值”时,无论距活性屏多远的试样都能取得较好的渗氮效果.通过理论分析认为这个偏压阈值恰好是能够引起工件表面产生自溅射所需要的最低电压.研究认为采用大尺寸活性屏渗氮时,距离活性屏较远的工件是靠施加在其上的偏压引起工件表面产生自溅射生成大量的纳米粒子作为渗氮的载体实现渗氮的.
通過採用大呎吋活性屏進行等離子滲氮處理,研究和分析瞭偏壓及其“閾值”對大呎吋活性屏滲氮的影響.實驗結果錶明:採用大呎吋活性屏滲氮時,加在工件上的偏壓是一箇決定性的因素,隻有噹負偏壓大于“閾值”時,無論距活性屏多遠的試樣都能取得較好的滲氮效果.通過理論分析認為這箇偏壓閾值恰好是能夠引起工件錶麵產生自濺射所需要的最低電壓.研究認為採用大呎吋活性屏滲氮時,距離活性屏較遠的工件是靠施加在其上的偏壓引起工件錶麵產生自濺射生成大量的納米粒子作為滲氮的載體實現滲氮的.
통과채용대척촌활성병진행등리자삼담처리,연구화분석료편압급기“역치”대대척촌활성병삼담적영향.실험결과표명:채용대척촌활성병삼담시,가재공건상적편압시일개결정성적인소,지유당부편압대우“역치”시,무론거활성병다원적시양도능취득교호적삼담효과.통과이론분석인위저개편압역치흡호시능구인기공건표면산생자천사소수요적최저전압.연구인위채용대척촌활성병삼담시,거리활성병교원적공건시고시가재기상적편압인기공건표면산생자천사생성대량적납미입자작위삼담적재체실현삼담적.
