中国科技论文
中國科技論文
중국과기논문
Sciencepaper Online
2015年
4期
429-432
,共4页
刘群%倪牮%张建军%马峻%王昊%赵颖
劉群%倪牮%張建軍%馬峻%王昊%趙穎
류군%예천%장건군%마준%왕호%조영
微晶硅锗%离子轰击%长波响应%太阳电池
微晶硅鍺%離子轟擊%長波響應%太暘電池
미정규타%리자굉격%장파향응%태양전지
采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术,制备了高锗含量(原子百分含量)的氢化微晶硅锗(μc-Si1-xGex:H)材料.通过锗含量、拉曼光谱、吸收系数以及电导率测试,研究了不同离子轰击条件下μc-Si1-xGex:H薄膜的结构及光电性能.在高离子轰击条件下制备的高锗含量的μc-Si1xGex:H薄膜显示,锗的掺入速度有所降低,晶化率和吸收系数较高且光敏性明显提高;本征层锗含量x=77％的μc-Si1 Gex:H太阳电池的量子效率在长波段显著增强且光谱响应拓展至1 300 nm,此时电池效率达到3.16％.
採用射頻等離子體增彊化學氣相沉積(RF-PECVD)技術,製備瞭高鍺含量(原子百分含量)的氫化微晶硅鍺(μc-Si1-xGex:H)材料.通過鍺含量、拉曼光譜、吸收繫數以及電導率測試,研究瞭不同離子轟擊條件下μc-Si1-xGex:H薄膜的結構及光電性能.在高離子轟擊條件下製備的高鍺含量的μc-Si1xGex:H薄膜顯示,鍺的摻入速度有所降低,晶化率和吸收繫數較高且光敏性明顯提高;本徵層鍺含量x=77％的μc-Si1 Gex:H太暘電池的量子效率在長波段顯著增彊且光譜響應拓展至1 300 nm,此時電池效率達到3.16％.
채용사빈등리자체증강화학기상침적(RF-PECVD)기술,제비료고타함량(원자백분함량)적경화미정규타(μc-Si1-xGex:H)재료.통과타함량、랍만광보、흡수계수이급전도솔측시,연구료불동리자굉격조건하μc-Si1-xGex:H박막적결구급광전성능.재고리자굉격조건하제비적고타함량적μc-Si1xGex:H박막현시,타적참입속도유소강저,정화솔화흡수계수교고차광민성명현제고;본정층타함량x=77％적μc-Si1 Gex:H태양전지적양자효솔재장파단현저증강차광보향응탁전지1 300 nm,차시전지효솔체도3.16％.
