中国科技论文
中國科技論文
중국과기논문
Sciencepaper Online
2015年
4期
375-378
,共4页
周青%王飞%谢继阳%李益%黄平
週青%王飛%謝繼暘%李益%黃平
주청%왕비%사계양%리익%황평
纳米多层膜%剪切带%共格界面%纳米压痕
納米多層膜%剪切帶%共格界麵%納米壓痕
납미다층막%전절대%공격계면%납미압흔
采用磁控溅射方法制备了调制周期为3～200 nm的Cu/Ru金属纳米多层膜.在通过X线衍射(XRD)和透射电子显微镜(TEM)对多层膜微结构结构进行系统表征的基础上,采用纳米压痕仪和扫描电子显微镜(SEM)研究了不同调制周期下Cu/Ru多层膜的压痕形貌.实验结果表明,调制周期大于8 nm时,Cu/Ru多层膜的压痕尖端形成径向裂纹,而在调制周期小于8m时,Cu/Ru多层膜的压痕周围出现外围剪切带.结合微结构表征,从界面结构演化的角度对实验结果进行了分析讨论.随着调制周期的减小,多层膜界面结构演化成共格界面,从而为位错的滑移提供条件,产生剪切带的同时抑制了裂纹的产生.
採用磁控濺射方法製備瞭調製週期為3～200 nm的Cu/Ru金屬納米多層膜.在通過X線衍射(XRD)和透射電子顯微鏡(TEM)對多層膜微結構結構進行繫統錶徵的基礎上,採用納米壓痕儀和掃描電子顯微鏡(SEM)研究瞭不同調製週期下Cu/Ru多層膜的壓痕形貌.實驗結果錶明,調製週期大于8 nm時,Cu/Ru多層膜的壓痕尖耑形成徑嚮裂紋,而在調製週期小于8m時,Cu/Ru多層膜的壓痕週圍齣現外圍剪切帶.結閤微結構錶徵,從界麵結構縯化的角度對實驗結果進行瞭分析討論.隨著調製週期的減小,多層膜界麵結構縯化成共格界麵,從而為位錯的滑移提供條件,產生剪切帶的同時抑製瞭裂紋的產生.
채용자공천사방법제비료조제주기위3～200 nm적Cu/Ru금속납미다층막.재통과X선연사(XRD)화투사전자현미경(TEM)대다층막미결구결구진행계통표정적기출상,채용납미압흔의화소묘전자현미경(SEM)연구료불동조제주기하Cu/Ru다층막적압흔형모.실험결과표명,조제주기대우8 nm시,Cu/Ru다층막적압흔첨단형성경향렬문,이재조제주기소우8m시,Cu/Ru다층막적압흔주위출현외위전절대.결합미결구표정,종계면결구연화적각도대실험결과진행료분석토론.수착조제주기적감소,다층막계면결구연화성공격계면,종이위위착적활이제공조건,산생전절대적동시억제료렬문적산생.
