中国科技论文
中國科技論文
중국과기논문
Sciencepaper Online
2015年
4期
475-477
,共3页
p型掺杂%ZnOSe薄膜%脉冲激光沉积%表征
p型摻雜%ZnOSe薄膜%脈遲激光沉積%錶徵
p형참잡%ZnOSe박막%맥충격광침적%표정
使用脉冲激光沉积技术在石英衬底上制备了ZnOSe薄膜.不同温度下对ZnOSe薄膜在N2气氛中进行快速退火.采用X射线衍射、Hall测试、紫外-可见透射光谱测试及X射线光电子谱等分析测试技术对薄膜进行结构和性能表征,结果表明:ZnOSe薄膜具有良好的(002)择优取向;800℃退火后的薄膜中空穴浓度达到了1.517×1017 cm-3,实现了p型导电.
使用脈遲激光沉積技術在石英襯底上製備瞭ZnOSe薄膜.不同溫度下對ZnOSe薄膜在N2氣氛中進行快速退火.採用X射線衍射、Hall測試、紫外-可見透射光譜測試及X射線光電子譜等分析測試技術對薄膜進行結構和性能錶徵,結果錶明:ZnOSe薄膜具有良好的(002)擇優取嚮;800℃退火後的薄膜中空穴濃度達到瞭1.517×1017 cm-3,實現瞭p型導電.
사용맥충격광침적기술재석영츤저상제비료ZnOSe박막.불동온도하대ZnOSe박막재N2기분중진행쾌속퇴화.채용X사선연사、Hall측시、자외-가견투사광보측시급X사선광전자보등분석측시기술대박막진행결구화성능표정,결과표명:ZnOSe박막구유량호적(002)택우취향;800℃퇴화후적박막중공혈농도체도료1.517×1017 cm-3,실현료p형도전.
