哈尔滨理工大学学报
哈爾濱理工大學學報
합이빈리공대학학보
JOURNAL OF HARBIN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
2015年
1期
1-5
,共5页
迟庆国%张昌海%崔洋%刘刚
遲慶國%張昌海%崔洋%劉剛
지경국%장창해%최양%류강
热释电薄膜%探测优值%复合结构%界面优化%低温晶化
熱釋電薄膜%探測優值%複閤結構%界麵優化%低溫晶化
열석전박막%탐측우치%복합결구%계면우화%저온정화
pyroelectric thin films%figure of merit%composite structure%interface optimization%low temperature crystallization
为了获得优异性能的热释电薄膜材料,详细论述了热释电薄膜探测优值的提高途径和影响因素.研究重点在提高薄膜热释电系数(新材料体系的开发及原有材料的掺杂改性)以及降低薄膜的介电常数(多孔/多层薄膜结构设计).但单纯热释电系数的提高对于提高探测优值作用有限;而设计多孔/多层结构会造成薄膜质量劣化,增大漏电流密度.因此作者结合多孔薄膜和多层薄膜的各自优点,利用界面优化调谐的作用,在低结晶温度下,设计和制备出双层致密薄膜包夹多孔薄膜的复合结构薄膜.由此给出一种提高热释电薄膜探测优值的有效途径,同时复合结构薄膜体系的低温结晶对热释电薄膜在硅基电路上实现单片集成化具有重要价值.
為瞭穫得優異性能的熱釋電薄膜材料,詳細論述瞭熱釋電薄膜探測優值的提高途徑和影響因素.研究重點在提高薄膜熱釋電繫數(新材料體繫的開髮及原有材料的摻雜改性)以及降低薄膜的介電常數(多孔/多層薄膜結構設計).但單純熱釋電繫數的提高對于提高探測優值作用有限;而設計多孔/多層結構會造成薄膜質量劣化,增大漏電流密度.因此作者結閤多孔薄膜和多層薄膜的各自優點,利用界麵優化調諧的作用,在低結晶溫度下,設計和製備齣雙層緻密薄膜包夾多孔薄膜的複閤結構薄膜.由此給齣一種提高熱釋電薄膜探測優值的有效途徑,同時複閤結構薄膜體繫的低溫結晶對熱釋電薄膜在硅基電路上實現單片集成化具有重要價值.
위료획득우이성능적열석전박막재료,상세논술료열석전박막탐측우치적제고도경화영향인소.연구중점재제고박막열석전계수(신재료체계적개발급원유재료적참잡개성)이급강저박막적개전상수(다공/다층박막결구설계).단단순열석전계수적제고대우제고탐측우치작용유한;이설계다공/다층결구회조성박막질량열화,증대루전류밀도.인차작자결합다공박막화다층박막적각자우점,이용계면우화조해적작용,재저결정온도하,설계화제비출쌍층치밀박막포협다공박막적복합결구박막.유차급출일충제고열석전박막탐측우치적유효도경,동시복합결구박막체계적저온결정대열석전박막재규기전로상실현단편집성화구유중요개치.
