光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2015年
4期
913-918
,共6页
王风丽%周东伟%张金帅%王占山
王風麗%週東偉%張金帥%王佔山
왕풍려%주동위%장금수%왕점산
真空紫外反射镜%Al/MgF2反射镜%基板温度%反射率
真空紫外反射鏡%Al/MgF2反射鏡%基闆溫度%反射率
진공자외반사경%Al/MgF2반사경%기판온도%반사솔
vacuum ultraviolet mirror%Al/MgF2 mirror%substrate temperature%reflectivity
采用三步热舟蒸发制作法研制了真空紫外Al/MgF2反射镜,研究了改善制备工艺有效提升反射率的方法.在两层Al/MgF2反射镜制备过程中,第一步在室温石英基板上快速蒸发厚约70 nm的铝膜;第二步在铝膜表面迅速蒸发厚约10 nm的MgF2;第三步先对基板加热到一定温度后,再在Al+ MgF2的表面上蒸发15~20 nm厚的MgF2.通过调整基板温度(室温、100℃、200℃和300℃),研究了基板温度对Al/MgF2反射率的影响.真空紫外反射率计测试结果表明:第二步蒸镀MgF2之后增加基板温度有利于提高反射镜的反射率;MgF2薄膜的厚度对反射镜的反射率起到一定的调制作用,MgF2厚为26.7 nm的反射镜在122 nm处的反射率达85%.在实验室环境下存放1个月和5个月后,反射镜的反射率没有变化.研究结果为真空紫外光学系统需求的高性能光学元件的研制提供了技术基础.
採用三步熱舟蒸髮製作法研製瞭真空紫外Al/MgF2反射鏡,研究瞭改善製備工藝有效提升反射率的方法.在兩層Al/MgF2反射鏡製備過程中,第一步在室溫石英基闆上快速蒸髮厚約70 nm的鋁膜;第二步在鋁膜錶麵迅速蒸髮厚約10 nm的MgF2;第三步先對基闆加熱到一定溫度後,再在Al+ MgF2的錶麵上蒸髮15~20 nm厚的MgF2.通過調整基闆溫度(室溫、100℃、200℃和300℃),研究瞭基闆溫度對Al/MgF2反射率的影響.真空紫外反射率計測試結果錶明:第二步蒸鍍MgF2之後增加基闆溫度有利于提高反射鏡的反射率;MgF2薄膜的厚度對反射鏡的反射率起到一定的調製作用,MgF2厚為26.7 nm的反射鏡在122 nm處的反射率達85%.在實驗室環境下存放1箇月和5箇月後,反射鏡的反射率沒有變化.研究結果為真空紫外光學繫統需求的高性能光學元件的研製提供瞭技術基礎.
채용삼보열주증발제작법연제료진공자외Al/MgF2반사경,연구료개선제비공예유효제승반사솔적방법.재량층Al/MgF2반사경제비과정중,제일보재실온석영기판상쾌속증발후약70 nm적려막;제이보재려막표면신속증발후약10 nm적MgF2;제삼보선대기판가열도일정온도후,재재Al+ MgF2적표면상증발15~20 nm후적MgF2.통과조정기판온도(실온、100℃、200℃화300℃),연구료기판온도대Al/MgF2반사솔적영향.진공자외반사솔계측시결과표명:제이보증도MgF2지후증가기판온도유리우제고반사경적반사솔;MgF2박막적후도대반사경적반사솔기도일정적조제작용,MgF2후위26.7 nm적반사경재122 nm처적반사솔체85%.재실험실배경하존방1개월화5개월후,반사경적반사솔몰유변화.연구결과위진공자외광학계통수구적고성능광학원건적연제제공료기술기출.