光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2015年
4期
934-940
,共7页
拼接干涉检测%子孔径拼接%机械定位误差%补偿算法%大口径平面镜
拼接榦涉檢測%子孔徑拼接%機械定位誤差%補償算法%大口徑平麵鏡
병접간섭검측%자공경병접%궤계정위오차%보상산법%대구경평면경
stitching interferometry%subaperture stitching%positioning system error%compensation algorithm%large aperture flat mirror
针对拼接干涉检测系统机械定位精度引起的各子孔径间的相对定位误差,提出了含定位误差补偿项的全局最优化拼接算法.介绍了该算法原理,从理论上分析了该算法拟合出的平移和旋转定位系数的精度.结合MetroPro和Matlab软件仿真模拟实验,分析了机械定位误差对拼接检测精度的影响.实验表明:拟合出的平移定位系数精度高于旋转定位系数精度,与理论分析一致;相对于一般算法,该算法对机械误差有较强的免疫力.在搭建的拼接检测装置上检测了口径为150mm的平面镜,结果显示:拼接结果与干涉仪直接检测的全口径相位残差的分布峰谷值(PV)为0.015 30λ,均方根值(RMS)为0.001 570λ,得到的结果十分接近,验证了该算法稳定可靠,能够合理有效地补偿机械精度引起的子孔径定位误差.
針對拼接榦涉檢測繫統機械定位精度引起的各子孔徑間的相對定位誤差,提齣瞭含定位誤差補償項的全跼最優化拼接算法.介紹瞭該算法原理,從理論上分析瞭該算法擬閤齣的平移和鏇轉定位繫數的精度.結閤MetroPro和Matlab軟件倣真模擬實驗,分析瞭機械定位誤差對拼接檢測精度的影響.實驗錶明:擬閤齣的平移定位繫數精度高于鏇轉定位繫數精度,與理論分析一緻;相對于一般算法,該算法對機械誤差有較彊的免疫力.在搭建的拼接檢測裝置上檢測瞭口徑為150mm的平麵鏡,結果顯示:拼接結果與榦涉儀直接檢測的全口徑相位殘差的分佈峰穀值(PV)為0.015 30λ,均方根值(RMS)為0.001 570λ,得到的結果十分接近,驗證瞭該算法穩定可靠,能夠閤理有效地補償機械精度引起的子孔徑定位誤差.
침대병접간섭검측계통궤계정위정도인기적각자공경간적상대정위오차,제출료함정위오차보상항적전국최우화병접산법.개소료해산법원리,종이론상분석료해산법의합출적평이화선전정위계수적정도.결합MetroPro화Matlab연건방진모의실험,분석료궤계정위오차대병접검측정도적영향.실험표명:의합출적평이정위계수정도고우선전정위계수정도,여이론분석일치;상대우일반산법,해산법대궤계오차유교강적면역력.재탑건적병접검측장치상검측료구경위150mm적평면경,결과현시:병접결과여간섭의직접검측적전구경상위잔차적분포봉곡치(PV)위0.015 30λ,균방근치(RMS)위0.001 570λ,득도적결과십분접근,험증료해산법은정가고,능구합리유효지보상궤계정도인기적자공경정위오차.
