华南理工大学学报（自然科学版）
華南理工大學學報（自然科學版）
화남리공대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SOUTH CHINA UNIVERSITY OF TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2014年
11期
25-30,39
,共7页
王建彬%朱永伟%居志兰%徐俊%左敦稳
王建彬%硃永偉%居誌蘭%徐俊%左敦穩
왕건빈%주영위%거지란%서준%좌돈은
固结磨料%乙二醇%蓝宝石%表面变质层%材料去除速率
固結磨料%乙二醇%藍寶石%錶麵變質層%材料去除速率
고결마료%을이순%람보석%표면변질층%재료거제속솔
fixed abrasive%ethylene glycol%sapphire%surface-modified layer%material removal rate
研磨液中的化学添加剂对于蓝宝石晶圆的高效超光滑表面加工至关重要.文中开展了固结磨料研磨蓝宝石晶圆的实验研究,探索了不同乙二醇含量的研磨液对材料去除速率和表面形貌的影响规律,采用微/纳米压痕技术和光电子能谱剖析了工件表层的物理化学性能.结果表明:当研磨液中含有5％的乙二醇时,工件表面变质层深度约为3.90 nm,远优于去离子水研磨液的工件变质层深度(1.04 nm);乙二醇含量的提高促进了表面变质层的生成,有利于蓝宝石工件研磨效率的提高和表面质量的改善.
研磨液中的化學添加劑對于藍寶石晶圓的高效超光滑錶麵加工至關重要.文中開展瞭固結磨料研磨藍寶石晶圓的實驗研究,探索瞭不同乙二醇含量的研磨液對材料去除速率和錶麵形貌的影響規律,採用微/納米壓痕技術和光電子能譜剖析瞭工件錶層的物理化學性能.結果錶明:噹研磨液中含有5％的乙二醇時,工件錶麵變質層深度約為3.90 nm,遠優于去離子水研磨液的工件變質層深度(1.04 nm);乙二醇含量的提高促進瞭錶麵變質層的生成,有利于藍寶石工件研磨效率的提高和錶麵質量的改善.
연마액중적화학첨가제대우람보석정원적고효초광활표면가공지관중요.문중개전료고결마료연마람보석정원적실험연구,탐색료불동을이순함량적연마액대재료거제속솔화표면형모적영향규률,채용미/납미압흔기술화광전자능보부석료공건표층적물이화학성능.결과표명:당연마액중함유5％적을이순시,공건표면변질층심도약위3.90 nm,원우우거리자수연마액적공건변질층심도(1.04 nm);을이순함량적제고촉진료표면변질층적생성,유리우람보석공건연마효솔적제고화표면질량적개선.
