光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2015年
4期
1044-1052
,共9页
周织建%聂伟荣%席占稳%王晓锋
週織建%聶偉榮%席佔穩%王曉鋒
주직건%섭위영%석점은%왕효봉
UV-LIGA%多层电铸镍%抗冲击性能%微机电系统(MEMS)
UV-LIGA%多層電鑄鎳%抗遲擊性能%微機電繫統(MEMS)
UV-LIGA%다층전주얼%항충격성능%미궤전계통(MEMS)
Ultraviolet Lithography Galvanoformung Abformung (UV-LIGA)%multi-layered electroformed nickel%anti-impact property%Micro-mechanic-electronic System(MEMS)
为研究采用UV-LIGA(Ultraviolet Lithography,Galvanoformung,Abformung)技术制作的多层电铸镍的机械可靠性,对其进行了抗冲击性能分析.利用冲击试验台及信号采集系统测试了UV-LIGA多层电铸镍的抗冲击性能.实验分析得到其累积失效概率-加速度峰值曲线近似拟合于韦布尔统计分布,韦布尔系数γ=7.6,参考加速度为21 300g.当加速度为12 000～18 000g时,可靠性相对较高;当加速度为12 000～18 000 g时,累计失效概率增加较快;当加速度大于24 000g时,可靠性下降迅速.利用扫描电子显微镜(SEM)观察了试样,得到其主要的失效形式有分层、断裂、塑性变形以及黏连等.初步分析了失效原因,并提出了相应的优化设计方法,为UV-LIGA多层结构的设计提供实验依据.
為研究採用UV-LIGA(Ultraviolet Lithography,Galvanoformung,Abformung)技術製作的多層電鑄鎳的機械可靠性,對其進行瞭抗遲擊性能分析.利用遲擊試驗檯及信號採集繫統測試瞭UV-LIGA多層電鑄鎳的抗遲擊性能.實驗分析得到其纍積失效概率-加速度峰值麯線近似擬閤于韋佈爾統計分佈,韋佈爾繫數γ=7.6,參攷加速度為21 300g.噹加速度為12 000～18 000g時,可靠性相對較高;噹加速度為12 000～18 000 g時,纍計失效概率增加較快;噹加速度大于24 000g時,可靠性下降迅速.利用掃描電子顯微鏡(SEM)觀察瞭試樣,得到其主要的失效形式有分層、斷裂、塑性變形以及黏連等.初步分析瞭失效原因,併提齣瞭相應的優化設計方法,為UV-LIGA多層結構的設計提供實驗依據.
위연구채용UV-LIGA(Ultraviolet Lithography,Galvanoformung,Abformung)기술제작적다층전주얼적궤계가고성,대기진행료항충격성능분석.이용충격시험태급신호채집계통측시료UV-LIGA다층전주얼적항충격성능.실험분석득도기루적실효개솔-가속도봉치곡선근사의합우위포이통계분포,위포이계수γ=7.6,삼고가속도위21 300g.당가속도위12 000～18 000g시,가고성상대교고;당가속도위12 000～18 000 g시,루계실효개솔증가교쾌;당가속도대우24 000g시,가고성하강신속.이용소묘전자현미경(SEM)관찰료시양,득도기주요적실효형식유분층、단렬、소성변형이급점련등.초보분석료실효원인,병제출료상응적우화설계방법,위UV-LIGA다층결구적설계제공실험의거.
