光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2015年
4期
1034-1043
,共10页
王占奎%朱永伟%朱琳%王建彬
王佔奎%硃永偉%硃琳%王建彬
왕점규%주영위%주림%왕건빈
三乙醇胺%尖晶石%固结磨料%研磨%软化层
三乙醇胺%尖晶石%固結磨料%研磨%軟化層
삼을순알%첨정석%고결마료%연마%연화층
triethanolamine%spinel%fixed abrasive%lapping%softened layer
探索了三乙醇胺在镁铝尖晶石固结磨料研磨中的作用机理并进行了系列实验.首先,通过显微压痕实验测量了三乙醇胺和去离子水作用下镁铝尖晶石样品的硬度.然后,采用X射线光电子能谱仪(XPS)分析了三乙醇胺的化学作用机理,研究了在三乙醇胺和去离子水作用下工件表面层化学组分随深度的变化,估算了其表面软化层的厚度.最后,通过研磨实验探索了去离子水和不同浓度的三乙醇胺对材料去除率和表面质量的影响.结果表明:三乙醇胺研磨液对工件的化学作用降低了其表面层的显微硬度,形成了软化层;三乙醇胺和去离子水形成软化层的机制是其中的OH-和吸附的CO2与尖晶石基体发生了反应,而三乙醇胺形成的软化层厚度约为2 nm,去离子水形成的软化层厚度小于0.65nm;采用三乙醇胺研磨液的材料去除率高于采用去离子水,但表面质量较采用去离子水的差.实验证明,三乙醇胺对工件的化学作用可以显著地提高材料去除效率.
探索瞭三乙醇胺在鎂鋁尖晶石固結磨料研磨中的作用機理併進行瞭繫列實驗.首先,通過顯微壓痕實驗測量瞭三乙醇胺和去離子水作用下鎂鋁尖晶石樣品的硬度.然後,採用X射線光電子能譜儀(XPS)分析瞭三乙醇胺的化學作用機理,研究瞭在三乙醇胺和去離子水作用下工件錶麵層化學組分隨深度的變化,估算瞭其錶麵軟化層的厚度.最後,通過研磨實驗探索瞭去離子水和不同濃度的三乙醇胺對材料去除率和錶麵質量的影響.結果錶明:三乙醇胺研磨液對工件的化學作用降低瞭其錶麵層的顯微硬度,形成瞭軟化層;三乙醇胺和去離子水形成軟化層的機製是其中的OH-和吸附的CO2與尖晶石基體髮生瞭反應,而三乙醇胺形成的軟化層厚度約為2 nm,去離子水形成的軟化層厚度小于0.65nm;採用三乙醇胺研磨液的材料去除率高于採用去離子水,但錶麵質量較採用去離子水的差.實驗證明,三乙醇胺對工件的化學作用可以顯著地提高材料去除效率.
탐색료삼을순알재미려첨정석고결마료연마중적작용궤리병진행료계렬실험.수선,통과현미압흔실험측량료삼을순알화거리자수작용하미려첨정석양품적경도.연후,채용X사선광전자능보의(XPS)분석료삼을순알적화학작용궤리,연구료재삼을순알화거리자수작용하공건표면층화학조분수심도적변화,고산료기표면연화층적후도.최후,통과연마실험탐색료거리자수화불동농도적삼을순알대재료거제솔화표면질량적영향.결과표명:삼을순알연마액대공건적화학작용강저료기표면층적현미경도,형성료연화층;삼을순알화거리자수형성연화층적궤제시기중적OH-화흡부적CO2여첨정석기체발생료반응,이삼을순알형성적연화층후도약위2 nm,거리자수형성적연화층후도소우0.65nm;채용삼을순알연마액적재료거제솔고우채용거리자수,단표면질량교채용거리자수적차.실험증명,삼을순알대공건적화학작용가이현저지제고재료거제효솔.
