光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2015年
4期
1081-1087
,共7页
音圈电机%精密定位平台%敏感函数%前馈补偿
音圈電機%精密定位平檯%敏感函數%前饋補償
음권전궤%정밀정위평태%민감함수%전궤보상
voice coil motor%precise positioning table%sensitivity function%feedforword compensation
针对音圈电机驱动的X-Y定位平台中稳态误差导致的系统定位精度较低的问题,提出了基于敏感函数逆的前馈补偿控制方法.首先,采用频域辨识方法建立了系统模型,基于终值定理推导出系统扰动和稳态误差的关系,并由此设计了敏感函数的逆模型来补偿扰动对稳态误差的影响,从而提高系统精密定位性能.最后,在搭建的音圈电机驱动X-Y定位平台上进行了不同运动行程的实验研究.实验结果表明:在行程为10μm,最大加速度为6 mm/s2的微定位运动条件下,补偿后的定位误差可由2 μm降低到0.2μm;在行程为10 mm,最大加速度为6 m/s2的宏定位运动条件下,定位误差可由2μm降低到0.4μm.实验结果验证了本方法的有效性,为后续高精密伺服系统的研制提供了重要参考和设计依据.
針對音圈電機驅動的X-Y定位平檯中穩態誤差導緻的繫統定位精度較低的問題,提齣瞭基于敏感函數逆的前饋補償控製方法.首先,採用頻域辨識方法建立瞭繫統模型,基于終值定理推導齣繫統擾動和穩態誤差的關繫,併由此設計瞭敏感函數的逆模型來補償擾動對穩態誤差的影響,從而提高繫統精密定位性能.最後,在搭建的音圈電機驅動X-Y定位平檯上進行瞭不同運動行程的實驗研究.實驗結果錶明:在行程為10μm,最大加速度為6 mm/s2的微定位運動條件下,補償後的定位誤差可由2 μm降低到0.2μm;在行程為10 mm,最大加速度為6 m/s2的宏定位運動條件下,定位誤差可由2μm降低到0.4μm.實驗結果驗證瞭本方法的有效性,為後續高精密伺服繫統的研製提供瞭重要參攷和設計依據.
침대음권전궤구동적X-Y정위평태중은태오차도치적계통정위정도교저적문제,제출료기우민감함수역적전궤보상공제방법.수선,채용빈역변식방법건립료계통모형,기우종치정리추도출계통우동화은태오차적관계,병유차설계료민감함수적역모형래보상우동대은태오차적영향,종이제고계통정밀정위성능.최후,재탑건적음권전궤구동X-Y정위평태상진행료불동운동행정적실험연구.실험결과표명:재행정위10μm,최대가속도위6 mm/s2적미정위운동조건하,보상후적정위오차가유2 μm강저도0.2μm;재행정위10 mm,최대가속도위6 m/s2적굉정위운동조건하,정위오차가유2μm강저도0.4μm.실험결과험증료본방법적유효성,위후속고정밀사복계통적연제제공료중요삼고화설계의거.
