华南师范大学学报（自然科学版）
華南師範大學學報（自然科學版）
화남사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SOUTH CHINA NORMAL UNIVERSITY （NATURAL SCIENCE EDITION）
2015年
2期
84-89
,共6页
韦必明%金名亮%吴昊%窦盈莹%周国富%水玲玲
韋必明%金名亮%吳昊%竇盈瑩%週國富%水玲玲
위필명%금명량%오호%두영형%주국부%수령령
线棒涂布法%大面积涂布%高粘度%光刻胶%涂布工艺
線棒塗佈法%大麵積塗佈%高粘度%光刻膠%塗佈工藝
선봉도포법%대면적도포%고점도%광각효%도포공예
bar coating%large area coating%high viscosity%photoresist%coating process
介绍了一种在大面积基材上涂布高粘度光刻胶的线棒涂布法.主要针对涂膜厚度与均匀性进行研究,结果表明,膜厚随着光刻胶粘度和涂布棒尺寸的增大而变厚,涂布速度在某一范围内对膜厚无影响.线棒涂布机设备中所加垫板的硬度直接影响涂膜的均匀性,硬度小的垫板可获得更均匀的涂膜,而垫板高度在某一范围内对膜厚无影响.与常用旋涂法相比,线棒涂布法具有操作简单、节省材料和可大面积涂布等优点.
介紹瞭一種在大麵積基材上塗佈高粘度光刻膠的線棒塗佈法.主要針對塗膜厚度與均勻性進行研究,結果錶明,膜厚隨著光刻膠粘度和塗佈棒呎吋的增大而變厚,塗佈速度在某一範圍內對膜厚無影響.線棒塗佈機設備中所加墊闆的硬度直接影響塗膜的均勻性,硬度小的墊闆可穫得更均勻的塗膜,而墊闆高度在某一範圍內對膜厚無影響.與常用鏇塗法相比,線棒塗佈法具有操作簡單、節省材料和可大麵積塗佈等優點.
개소료일충재대면적기재상도포고점도광각효적선봉도포법.주요침대도막후도여균균성진행연구,결과표명,막후수착광각효점도화도포봉척촌적증대이변후,도포속도재모일범위내대막후무영향.선봉도포궤설비중소가점판적경도직접영향도막적균균성,경도소적점판가획득경균균적도막,이점판고도재모일범위내대막후무영향.여상용선도법상비,선봉도포법구유조작간단、절성재료화가대면적도포등우점.
