中国科技信息
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중국과기신식
CHINA SCIENCE AND TECHNOLOGY INFORMATION
2015年
7期
29-31
,共3页
通过对椭偏法测量薄膜参数的理论和实验分析，对如何快速地确定消光位置进行了研究，得出在测量椭偏参数时有两组独立的特定值，并且两组消光位置的起偏器方位角相差90°。据此，总结出快速、准确找出消光位置的方法。利用该方法对五个不同薄膜样品的厚度和折射率进行了测量，得到的结果与理论分析有很好的一致性。
通過對橢偏法測量薄膜參數的理論和實驗分析，對如何快速地確定消光位置進行瞭研究，得齣在測量橢偏參數時有兩組獨立的特定值，併且兩組消光位置的起偏器方位角相差90°。據此，總結齣快速、準確找齣消光位置的方法。利用該方法對五箇不同薄膜樣品的厚度和摺射率進行瞭測量，得到的結果與理論分析有很好的一緻性。
통과대타편법측량박막삼수적이론화실험분석，대여하쾌속지학정소광위치진행료연구，득출재측량타편삼수시유량조독립적특정치，병차량조소광위치적기편기방위각상차90°。거차，총결출쾌속、준학조출소광위치적방법。이용해방법대오개불동박막양품적후도화절사솔진행료측량，득도적결과여이론분석유흔호적일치성。
